為解決微型零件加工需求，速科德創(chuàng)新研發(fā)了超高精密設(shè)備KASITE-SKD系列微納加工中心，加工余量范圍20nm-100μm。

一、設(shè)備核心技術(shù)

高速主軸：德國進(jìn)口品牌Kasite/SycoTec，轉(zhuǎn)速可達(dá)60,000rpm，精度≤1μm

視覺系統(tǒng)：上下兩個高倍率遠(yuǎn)心鏡頭相機(jī)，2,000 W高清像素，空間分辨率≤1μm

直線電機(jī)：進(jìn)口品牌直線電機(jī)，高精度、高響應(yīng)

光柵反饋：10nm、20 nm、50 nm、100 nm

二、相機(jī)功能優(yōu)勢

上相機(jī)：

① 標(biāo)定刀具中心和相機(jī)中心誤差。

② 在線檢測工件尺寸確定余量后進(jìn)行微納加工。

下相機(jī)：

① 對刀功能( 靜態(tài)刀具XYZ值的對刀)。

② 刀具動態(tài)的刀擺補(bǔ)償。

三、軟件優(yōu)勢

1.自帶CNC功能的運(yùn)動控制卡編程運(yùn)算各指令。

2.自定義運(yùn)動軌跡控制，編輯不同形狀，自動完成零件加工需求。

四、設(shè)備規(guī)格

五、應(yīng)用領(lǐng)域

設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空航天、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、通用機(jī)械加工、模具制造等領(lǐng)域鉆、銑、磨高精密加工。

六、加工應(yīng)用案例

高精度微深孔加工：孔深系數(shù)(D/L)約等于100

微小橢圓高精度加工：按橢圓軌跡磨削加工擴(kuò)展到短軸0.75mm，長軸0.9mm，圓度公差≤2μm

高精密微針加工：微針形狀為圓錐形、圓柱形、三棱錐、四棱錐等，高度600-800μm，底邊長200μm，針體間距500-800μm