三坐標(biāo)測(cè)頭校準(zhǔn)是確保測(cè)量精度的基本，在校準(zhǔn)流程中造成偏差的關(guān)鍵要素有：測(cè)桿的彎曲形變，校準(zhǔn)時(shí)觸測(cè)點(diǎn)部位，測(cè)力，觸測(cè)速度和探測(cè)間距等，測(cè)力越小精密度越低，該選用相應(yīng)的測(cè)力和測(cè)速開(kāi)展校準(zhǔn)，與此同時(shí)采用適合的探測(cè)間距，以確保校準(zhǔn)精密度。
校驗(yàn)三坐標(biāo)測(cè)頭關(guān)鍵依據(jù)下邊2個(gè)方面的緣故。

（1）坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量零部件時(shí)，測(cè)量傳感器安裝使用的測(cè)針尾端是寶石球，球體與被測(cè)零部件表層觸碰后觸發(fā)測(cè)量數(shù)據(jù)信號(hào)。觸發(fā)數(shù)據(jù)信號(hào)后，運(yùn)動(dòng)控制器將設(shè)備的現(xiàn)階段坐標(biāo)發(fā)送到測(cè)量軟件，隨后由軟件將設(shè)備坐標(biāo)測(cè)算到測(cè)球中心，最后再依據(jù)觸測(cè)方位，偏離測(cè)球半徑，以得到正確合理的測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)，這一個(gè)能精確調(diào)整測(cè)球半徑值的功能是幾何測(cè)量機(jī)軟件的一種關(guān)鍵功能。因?yàn)槿鴺?biāo)測(cè)頭半徑尺寸、安裝使用尺寸等存有偏差，很有可能會(huì)干擾測(cè)量點(diǎn)的精密度，因此測(cè)量系統(tǒng)需要根據(jù)校驗(yàn)流程，來(lái)調(diào)整實(shí)際測(cè)針的半徑值。