激光干涉儀是激光的應(yīng)用的一種，它以激光波長(zhǎng)為已發(fā)現(xiàn)尺寸，運(yùn)用的是邁克爾遜干涉系統(tǒng)檢驗(yàn)偏移的通用性尺寸測(cè)量。除開能夠用以測(cè)量長(zhǎng)度之外，假如搭配各類折射鏡、反射鏡等來作線性部位、速率、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等檢驗(yàn)工作，可做為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)工作。

未來，激光干涉儀可從光源、探測(cè)器、信號(hào)處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面實(shí)現(xiàn)發(fā)展壯大，從檢驗(yàn)數(shù)據(jù)信息的可靠性、精確性，及其測(cè)量?jī)x器的便攜式等，持續(xù)改進(jìn)各類特性。接下來簡(jiǎn)單介紹一下它在幾個(gè)方面的運(yùn)用情況。

1、數(shù)控機(jī)床檢驗(yàn)中的運(yùn)用

伴隨著數(shù)控機(jī)床運(yùn)用的普及化，選用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床實(shí)現(xiàn)定位精度檢驗(yàn)早已成為了現(xiàn)階段*的高效率、高精度的檢驗(yàn)方式。可用以精密機(jī)床、大規(guī)模的集成電路生產(chǎn)設(shè)備等在線部位檢驗(yàn)、偏差校正和控制，其中雙頻的運(yùn)用更多。與傳統(tǒng)的檢驗(yàn)方式比照，具備較高的精度和效率，并能妥善處理數(shù)據(jù)信息，為機(jī)床偏差校正給予根據(jù)，部位精度是機(jī)床的關(guān)鍵指標(biāo)，現(xiàn)階段各國(guó)機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)上都推薦應(yīng)用激光干涉儀。在機(jī)床中的運(yùn)用是其它傳統(tǒng)檢驗(yàn)手段難以實(shí)現(xiàn)和代替的。

2、位移傳感器

激光干涉儀在位移傳感器檢驗(yàn)中的運(yùn)用已成為了一個(gè)大發(fā)展趨向，其優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度快、反應(yīng)速度快、便于數(shù)字化檢驗(yàn)。在檢驗(yàn)中設(shè)計(jì)構(gòu)思1個(gè)精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測(cè)傳感器放到一塊兒同步檢驗(yàn)，進(jìn)而產(chǎn)生比照，位移傳感器全自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)與HP干涉儀對(duì)定位移實(shí)現(xiàn)檢測(cè)比照，得到往復(fù)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)結(jié)論。