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干涉儀的主要應(yīng)用范圍
1. 表面的形狀
2. 曲率測試
3. 表面平整度或表粗糙度
4. 玻璃兩側(cè)的面是否夠平整
5. 角度測試, 有些光學(xué)組件是有角度的, 可藉此測量其準度
6. 應(yīng)力測試, 例如眼鏡或相機鏡頭, 當必須用其他對象夾住玻璃時, 可以測試該玻璃的變形量.
實例 測量表面平整性:
如下圖當光源由參考面打到待測物的個面時會反射, 我們看到的是它的差異度, 也因此可以測量出待測面的表面平整度.并由計算機直接判讀出正確的數(shù)據(jù)結(jié)果.如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光, 那么被遮住的部分就不會再有光從下方出現(xiàn), 而只顯示出一部份的反射條紋.
第2測量內(nèi)反射面的平整度:
光源由參考面打到待測物的個面時會反射,但是也可以打進待測物里面, 經(jīng)由反射的過程再反射回參考面,也就是說, 使用同一個架構(gòu)可以測量到物體的二面, 那么要知道我們測量的到底是哪一個面? 如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光, 那么被遮住的部份就不會再有光從下方出現(xiàn), 但會顯示出沒被遮住的部份反射條紋, 那么所測得的就是表面平整度. 而內(nèi)反射的光源是由上方打入待測物中, 再經(jīng)由反射從下方出來, 所以如果我們拿一張不透光的白紙遮住上方的光, 那么就不會再有光從下方出現(xiàn), 這樣就能得知目前所測量的是內(nèi)反射面平整度了.
第3 是測量內(nèi)反射面的角度誤差:
這是X-cube的側(cè)面圖, 理論上都會盡量要求達到接近90度, 所以我們也可以用干涉儀來測量內(nèi)反射面的角度誤差
第4 測量穿透波面的平整度:
光在投影機中必須是穿透的, 如果X-cube有一些瑕疵的話, 顯示出來的影像就會不漂亮, 所以就必須測量其穿透波的平整度.
當光源從上方打出來, 透過待測物打到標準反射鏡片時, 再反射回去, 如果待測物的放置位置是平整的, 那么每一道光都會循原來的途徑反射回去, 可能會分不清楚到底是哪一個面所產(chǎn)生的干涉條紋. 這時可以調(diào)整待測物平臺的傾斜度, 使部份光不會進到干涉儀中, 那么就可以很清楚的看到干涉條紋了.
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