光譜分析就是根據(jù)物質(zhì)的光譜來鑒別物質(zhì)種類以及確定它的化學(xué)組成和相對含量的方法。物質(zhì)本身可以發(fā)射光產(chǎn)生發(fā)射光譜，也可對光產(chǎn)生吸收和散射而形成吸收光譜。于是我們利用這些*現(xiàn)象即可對物質(zhì)組分及含量進行分析。

這種方法的優(yōu)點是:具有的靈敏度和準(zhǔn)確度。例如，在檢測半導(dǎo)體材料硅和鍺的純度時，要求對其雜質(zhì)進行檢測，在檢測過程中發(fā)現(xiàn)某些雜質(zhì)元素質(zhì)量在0. 1ng/g時,都可以檢測出來，也就是說發(fā)現(xiàn)該雜質(zhì)元素的特征譜線存在。

從廣義講，各種電磁輻射都屬于光譜，一般按其波長可分為:

γ射線      0.00005-0.14nm;

X射線     0.01~ 10nm

微波波譜   0.3~ 1mm

而光譜區(qū)可分為:

真空紫外區(qū)    10~ 200nm

近紫外區(qū)      200~ 380nm

可見光譜區(qū)    380~ 780nm

近紅外光譜    780nm~ 3pm

遠紅外光譜    3- 300pm

光譜分析應(yīng)用的元素波長，大部分在真空紫外區(qū)和近紫外區(qū)最多。