我國衛(wèi)生部于2006年 12月 29日發(fā)布了《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》（ GB /T  5750.1-5750.13- 2006 ） ，并于 2007 年 7 月 1 日正式實(shí)施。新標(biāo)準(zhǔn)將藍(lán)氏賈第鞭毛蟲（giardia  lamblio ）和隱抱子蟲（ c町r tosporidium ) （以下簡稱“兩蟲叮列為檢驗(yàn)項(xiàng)目。近年來的調(diào)查研究表明：水和食物污染是“兩蟲”的重要傳播途徑 。隨著我國水源污染日益嚴(yán)重 ，這項(xiàng)檢測已成為水廠水質(zhì)檢測的重要項(xiàng)目。

目前我國還未發(fā)布檢測“兩蟲”的標(biāo)準(zhǔn)方法 ，國 際上對”兩蟲”的檢測一般使用美國國家發(fā) 布的 EPA1623 方法 ，但是 EPA1623 方法非常復(fù)雜 ， 檢測周期長 ，需要建立專門的實(shí)驗(yàn)室 ，并具有滯后 性。因此在國際上通常使用另外一種替代檢測方法：使用顆粒物計(jì)數(shù)儀進(jìn)行在線監(jiān)測 ，這種方法操作簡單、價格便宜、準(zhǔn)確度高。因而在發(fā)達(dá)國家和地區(qū)得到普遍應(yīng)用。而在我國，由于1985年頒布的《生活飲用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》中沒有要求檢測“兩蟲”，所 以，在新標(biāo)準(zhǔn)開始執(zhí)行后 ，使用顆粒物計(jì)數(shù)儀作為日常監(jiān)測“兩蟲”的手段得到廣泛的應(yīng)用。

顆粒物計(jì)數(shù)儀可定量檢測出水顆粒物的數(shù)量 ，為藍(lán)氏賈第鞭毛蟲和隱抱子蟲的監(jiān)測提供有力的 依據(jù)。此儀器不僅能夠?qū)ψ詠硭畯S進(jìn)行“兩蟲”監(jiān)測 ，還可對絮凝過程和過濾過程進(jìn)行監(jiān)控和優(yōu)化。可為水廠降低生產(chǎn)成本 、改進(jìn)生產(chǎn)工藝 、提高出水水質(zhì)。

OPC-2300在線顆粒計(jì)數(shù)儀就是在這種應(yīng)用下應(yīng)運(yùn)而生的儀器。

產(chǎn)品簡介：

PULUODY/普洛帝OPC-2300在線顆粒計(jì)數(shù)儀,是卡爾德工控采用顆粒計(jì)數(shù)器提供者英國普洛帝分析測試集團(tuán)公司的核心技術(shù)，嚴(yán)格按照英國普洛帝第七代雙激光窄光顆粒檢測技術(shù)，研制的一款在線液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測設(shè)備，集結(jié)國際主流的標(biāo)準(zhǔn)和方法。 自來水廠、凈水廠、污水處理廠、酒廠、飲料廠、清洗機(jī)、檢測試驗(yàn)臺等等，任何無人看護(hù)的現(xiàn)場，還是正在運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備，需要連續(xù)的監(jiān)測和及時的數(shù)據(jù)，都是PLD系列顆粒分析系統(tǒng)的經(jīng)典應(yīng)用場所，并成為生產(chǎn)線上的重要組成部分。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

一體化或分體式的結(jié)構(gòu)，RS232和模擬信號的輸出，滿足DCS和現(xiàn)場儀表顯示的要求。

在線、實(shí)時、連續(xù)取樣、報(bào)警提示，能夠即時掌握分析液壓系統(tǒng)的動態(tài)污染診斷和磨損趨勢。

液晶屏顯示，薄膜按鍵操作，結(jié)果以顆粒數(shù)量和大小顯示。

經(jīng)濟(jì)實(shí)用低成本，小型輕量易安裝，抗干擾性強(qiáng)、耐高溫高壓、外殼堅(jiān)固、可在惡劣環(huán)境下使用。

便攜移動式的外加離線取樣艙可滿足實(shí)驗(yàn)室、車間等現(xiàn)場測試。

產(chǎn)品應(yīng)用：

自來水廠、凈水廠、污水處理廠、酒廠、飲料廠、清洗機(jī)等各類處理及過濾設(shè)施等等。水顆粒物計(jì)數(shù)分布監(jiān)測、過濾膜完整性及過濾效率評價、微生物泄露監(jiān)測、水生物風(fēng)險(xiǎn)評估、濾池效率評估。

顆粒物計(jì)數(shù)儀在自來水廠中可用于以下幾個方面。

（1）水質(zhì)監(jiān)測 ：主要監(jiān)測藍(lán)氏賈第鞭毛蟲和隱 抱子蟲的存在

（2）監(jiān)測和優(yōu)化濾池 ：準(zhǔn)確選擇濾池的反洗時 間、大量節(jié)省反洗用水，及時發(fā)現(xiàn)濾池的 穿透，準(zhǔn)確 確定初濾水的排放時間 ，準(zhǔn)確評估濾池的效率 ，選 擇濾池的合理流量，得到過濾效果等。

(3）優(yōu)化絮凝過程 ：精確調(diào)節(jié)絮凝劑加入量，確 定絮凝池的操作方法 ，達(dá)到絮凝效果等。

顆粒物計(jì)數(shù)儀是自來水廠為水廠降低生產(chǎn)成 本、改進(jìn)生產(chǎn)工藝、提高出水水質(zhì)的有力工具。

另外，顆粒物計(jì)數(shù)儀還可以應(yīng)用于以下領(lǐng)域 ：(1）市政污水處理工藝優(yōu)化；（2 ）油田產(chǎn)出水處置井 保護(hù)；（ 3）飲用水的膜過濾過程監(jiān)測 ；（4 ）在水電廠測懸浮鐵和銅對設(shè)備的腐蝕；（ 5）其它需要檢測顆粒 物數(shù)量的工業(yè)領(lǐng)域。

2、在線顆粒計(jì)數(shù)儀在過濾過程的應(yīng)用

監(jiān)測和優(yōu)化過濾過程是顆粒物計(jì)數(shù)儀（OPC-2300）最重要的應(yīng)用之一，通過使用顆粒物計(jì)數(shù)儀監(jiān)測濾池的進(jìn)水、出水，可以得出很多信息，并根據(jù)這些信息對濾池進(jìn)行優(yōu)化。可以用來準(zhǔn)確選擇濾池反洗周期、及時發(fā)現(xiàn)濾池穿透、確定初濾水的排放時間、發(fā)現(xiàn)濾池設(shè)備損壞及土建缺陷、監(jiān)測濾油過濾效率、選擇濾池的合理流量等等。有研究表明，濾池出水處，顆粒物計(jì)數(shù)儀的靈敏度要比濁度儀高出100倍。

產(chǎn)品簡介：

PULUODY/普洛帝OPC-2300在線顆粒計(jì)數(shù)儀,是卡爾德工控采用顆粒計(jì)數(shù)器提供者英國普洛帝分析測試集團(tuán)公司的核心技術(shù)，嚴(yán)格按照英國普洛帝第七代雙激光窄光顆粒檢測技術(shù)，研制的一款在線液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測設(shè)備，集結(jié)國際主流的標(biāo)準(zhǔn)和方法。 自來水廠、凈水廠、污水處理廠、酒廠、飲料廠、清洗機(jī)、檢測試驗(yàn)臺等等，任何無人看護(hù)的現(xiàn)場，還是正在運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備，需要連續(xù)的監(jiān)測和及時的數(shù)據(jù)，都是PLD系列顆粒分析系統(tǒng)的經(jīng)典應(yīng)用場所，并成為生產(chǎn)線上的重要組成部分。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

可根據(jù)客戶要求，植入相應(yīng)“光阻法顆粒”測試和評判標(biāo)準(zhǔn)。

技術(shù)參數(shù)：

訂制要求：水系監(jiān)測系統(tǒng)

激光傳感檢測器：第七代雙激光窄光檢測器（更精確，更穩(wěn)定，更迅速）；

測試軟件：集成版；

檢測范圍：K傳感器2~750μm或800μm或5~1000μm

定徑范圍：1-100 µm；2-125 µm；2-250 µm；5~500µm；自定義

經(jīng)典輸入：1000通道任意8、16、32粒徑監(jiān)測；

分 度 值：0.1μm；

分 辨 力：10%；

精 確 度：<±3% 典型值

重合誤差：5%；                                   

檢測濃度：9999999粒/ml；

監(jiān)測間隔：5s~9h；                         

校準(zhǔn)方式：乳膠球定值或AC 定值、MTD定值；

在線壓力：0～0.6MPa（不含減壓閥）；0～31.5MPa（含減壓閥）；

取樣流速：6mL/min～500mL/min；

流體溫度：-10℃～80℃；

接口方式：可定制尺寸（卡套、法蘭）；

存儲能力：無限存儲；

模擬輸出：4mA～20mA接口；RS232或者R485接口；

報(bào)告方法：顆粒數(shù)/ml及污染度等級；

輸入電壓：9~30VCD或220V

3、OPC-2300顆粒檢測技術(shù)在膜法水處理中的應(yīng)用

目前應(yīng)用在水污染檢測的項(xiàng)目越來越多，但是項(xiàng)目的增加和指標(biāo)的提高也導(dǎo)致相關(guān)飲用水設(shè)備要求越來越高，因此所花費(fèi)的成本資金也就越高。在進(jìn)行監(jiān)測的時候，對顆粒物的檢測只包括濁度這一項(xiàng)檢測指標(biāo)，其中濁度主要反映的是水中顆粒物的含量，是目前自來水公司主要進(jìn)行監(jiān)控的指標(biāo)之一。但是根據(jù)相關(guān)研究調(diào)查表明，水中的致病微生物并不是水濁度越低，微生物就越少，在一些個體較大的致病微生物存在的水資源中，一般情況下，水濁度都較高，但是有一些體型較小的膠體顆粒物質(zhì)來說，存在于水中的話是不影響水濁度的，也就說明水濁度低，其中也可能會存在一些微小的致病微生物，人們飲用過后也有可能會患病，所以在單純檢測水濁度的技術(shù)中，是無法檢測水質(zhì)情況以及水腫致病微生物含量的。

普洛帝應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室就這一問題，做了應(yīng)用實(shí)驗(yàn)研究。

實(shí)驗(yàn)采用的主要儀器為OPC-2300在線顆粒計(jì)數(shù)儀，通過超濾膜組，將自來水裝入其中，將自來水過濾前后的水腫顆粒數(shù)量和濁度變化進(jìn)行記錄。接下來將爾馬肼混懸液注入其中，將混懸液作為超濾膜組件進(jìn)行應(yīng)用，并且進(jìn)行進(jìn)水。接下來，要通過一根或 者兩根膜絲對膜組件進(jìn)行截?cái)啵梢詫Ρ确治龀鲞^濾前后的水樣顆粒數(shù)以及濁度。通過對以上兩種過濾方式的對比分析，可以分析兩種水質(zhì)指標(biāo)的有效 性， 對于識別摸破損的靈敏度有著較為有效的效 果。在進(jìn)行監(jiān)測的時候，在系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行30min之后，要對水樣的顆粒數(shù)以及濁度進(jìn)行檢驗(yàn)， 每隔一分鐘進(jìn)行一次，記錄時間為20min。最后將這已經(jīng)記錄的20組數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算， 算出平均值作為本次研究的結(jié)果，平均值計(jì)算一共進(jìn)行6次試驗(yàn)，將這6次的平均值再進(jìn)行平均計(jì)算，做為檢測的最終結(jié)果。

經(jīng)過以上研究表明，在通過顆粒檢測技術(shù)在膜法水處理中的應(yīng)用過后，能夠較為細(xì)致的將水中存在的較大微生物顆粒以及細(xì)微的微生物顆粒能夠有效的檢查和過濾出來，為今后凈化水資源提供了有效的借鑒方式，可以進(jìn)行進(jìn)一步的發(fā)展和研究。

4、在線顆粒監(jiān)測儀有效補(bǔ)充濁度儀的監(jiān)測漏洞

通過超濾膜分離技術(shù)可以有效地將水中的顆粒物進(jìn)行清除，另外還可以利用中空纖維超濾膜去除隱孢子蟲和賈第鞭毛蟲，這種病毒具有抗氯消毒性， 通過良好的中空纖維超濾膜可以將其*清除，效果良好。目前在我國利用超濾膜進(jìn)行凈化水資源的方式已經(jīng)得到了普及和推廣，其主要是通過檢測水中的顆粒物和膜的完整性來表示水質(zhì)情況和安全程度。現(xiàn)如今在國內(nèi)研究凈水檢測方式的時候，主要是通過加入大量的絮凝劑，并且對其進(jìn)行優(yōu)化和完善，最終將沉淀下去的沉淀物進(jìn)行分析研究，觀察沉淀的情況和效果。根據(jù)國內(nèi)的相關(guān)研究表明，對相關(guān)水樣顆粒物進(jìn)行監(jiān)測的時候，水質(zhì)的變化會直接影響到顆粒技術(shù)，相比之下濁度檢測的效果不算明顯，顆粒物的檢測比較靈敏，可以提前 30min進(jìn)行穿透警告。另外在其他國內(nèi)研究報(bào)告中，通過對濾膜纖維的應(yīng)用，可以將水中的顆粒數(shù)進(jìn)行檢測，其中會產(chǎn)生3個數(shù)量級的變化。以上的研究均可以表明，通過顆粒檢測技術(shù)的方式能夠有效地檢測出水中的顆粒數(shù)，而且檢測速度快，檢測效果好，能夠進(jìn)一步提高目前我國的凈水技術(shù)。本次研究也主要通過對顆粒數(shù)和濁度的檢測，檢測相關(guān)的膜破損的靈敏度、超濾膜的截留效果以及顆粒計(jì)數(shù)檢測的影響因素等方面的指標(biāo)，可以為今后的凈水技術(shù)提供借鑒。

產(chǎn)品簡介：

PULUODY/普洛帝在線水質(zhì)粒子檢測計(jì)數(shù)儀,是卡爾德工控采用顆粒計(jì)數(shù)器提供者英國普洛帝分析測試集團(tuán)公司的核心技術(shù)，嚴(yán)格按照英國普洛帝第七代雙激光窄光顆粒檢測技術(shù)，研制的一款在線液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測設(shè)備，集結(jié)國際主流的標(biāo)準(zhǔn)和方法。 自來水廠、凈水廠、污水處理廠、酒廠、飲料廠、清洗機(jī)、檢測試驗(yàn)臺等等，任何無人看護(hù)的現(xiàn)場，還是正在運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備，需要連續(xù)的監(jiān)測和及時的數(shù)據(jù)，都是PLD系列顆粒分析系統(tǒng)的經(jīng)典應(yīng)用場所，并成為生產(chǎn)線上的重要組成部分。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

一體化或分體式的結(jié)構(gòu)，RS232和模擬信號的輸出，滿足DCS和現(xiàn)場儀表顯示的要求。

在線、實(shí)時、連續(xù)取樣、報(bào)警提示，能夠即時掌握分析液壓系統(tǒng)的動態(tài)污染診斷和磨損趨勢。

液晶屏顯示，薄膜按鍵操作，結(jié)果以顆粒數(shù)量和大小顯示。

經(jīng)濟(jì)實(shí)用低成本，小型輕量易安裝，抗干擾性強(qiáng)、耐高溫高壓、外殼堅(jiān)固、可在惡劣環(huán)境下使用。

便攜移動式的外加離線取樣艙可滿足實(shí)驗(yàn)室、車間等現(xiàn)場測試。

產(chǎn)品應(yīng)用：

自來水廠、凈水廠、污水處理廠、酒廠、飲料廠、清洗機(jī)等各類處理及過濾設(shè)施等等。水顆粒物計(jì)數(shù)分布監(jiān)測、過濾膜完整性及過濾效率評價、微生物泄露監(jiān)測、水生物風(fēng)險(xiǎn)評估、濾池效率評估。

5、澄明度儀解決不了的問題交給PLD-601

澄清度考察的是藥物本身在溶劑中的溶解問題。

可見異物（澄明度）考察的是由于生產(chǎn)工藝等外部原因帶入的不溶性可見雜質(zhì)。

不溶性微粒考察的是外部帶入的肉眼無法分辨的不溶性雜質(zhì)。

當(dāng)澄清度儀檢測不出肉眼無法分辨的不溶性雜質(zhì)，我們就要用光阻法的不溶性微粒檢查儀來解決這個問題。PLD-601中國藥典2020版不溶性微粒檢查儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對溶液型注射液、注射用無菌粉末、注射用濃溶液、供靜脈注射用無菌原料藥、疫苗、注射用水、醫(yī)藥包材具等的大小及數(shù)量檢測；輸液終端過濾器濾除效果及其他微粒污染濾除率檢測等；液體顆粒度、清潔度和污染物監(jiān)測和分析；設(shè)備及其日常維護(hù)和保養(yǎng)；藥機(jī)部件中的磨損試驗(yàn)；純凈溶液和超純水中不溶性微粒測試。

6、PLD-601不溶性微粒檢查儀在藥包材檢測中的應(yīng)用

作為藥品的第二生命,伴隨著藥品市場的高速增長,藥包材產(chǎn)業(yè)也迅速發(fā)展。自1979年國家醫(yī)藥管理局成立,對藥包材逐步實(shí)行規(guī) 范管理, 這一行業(yè)得到了較大的發(fā)展。但當(dāng)時藥包材行業(yè)管理缺乏法律依據(jù),管理力度不夠。

PLD-601不溶性微粒檢查儀，內(nèi)置的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)是符合藥包材管理標(biāo)準(zhǔn)的。

技術(shù)創(chuàng)新

引用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器；

雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)；

法規(guī)軟件

五級權(quán)限管理，數(shù)據(jù)可自由備份還原，斷電保護(hù)，符合數(shù)據(jù)完整性；

審計(jì)追蹤，電子審計(jì)報(bào)告，電子簽名，符合FDA21CFRPart11法規(guī)的要求；

操作便捷

中英文界面，檢測時間短，結(jié)果準(zhǔn)確穩(wěn)定，符合國內(nèi)外實(shí)驗(yàn)室操作習(xí)慣；

標(biāo)準(zhǔn)定制

內(nèi)置閾值、粒徑曲線和脈沖阻值,可任意設(shè)定通道粒徑值；

1000通道的0.01μm超多通道、超高分辨率滿足510多個標(biāo)準(zhǔn)要求。

藥包材標(biāo)準(zhǔn)是法定的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),是國家為保證藥包材質(zhì)量,確保藥包材的質(zhì)量可控而制定的質(zhì)量指標(biāo)、檢驗(yàn)方法等技術(shù)要求,是藥包材生產(chǎn)、供應(yīng)、使用、檢驗(yàn)和管理部門必須共同遵守的法定依據(jù)。也是提高藥包材的質(zhì)量,使其擇優(yōu)發(fā)展的依據(jù)。

7、PLD-601 在中藥注射劑與輸液配伍中的實(shí)驗(yàn)

近年來國家藥品不良反應(yīng)監(jiān)測中心統(tǒng)計(jì)的有關(guān)中藥注射劑的不良反應(yīng)與日俱增。中藥注射劑與輸液配伍后產(chǎn)生的不溶性微粒是導(dǎo)致中藥注射劑不良反應(yīng)發(fā)生的重要因素之一。 研究中藥注射劑與輸液配伍的穩(wěn)定性，將有助于臨床正確掌握中藥注射劑的應(yīng)用，發(fā)揮中藥注射劑的*療效，使臨床用藥更加安全、有效、合理。

PLD-601不溶性微粒檢查儀（廠家：陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司）對9種常用中藥注射劑與輸液配伍后不溶性微粒變化情況進(jìn)行測定。得出結(jié)論中藥注射劑與輸液配伍后，放置時間越長，不溶性微粒數(shù)越多，注射液越不穩(wěn)定，容易發(fā)生不良反應(yīng)。靜脈 配置中心集中配置，可以限度地減少外源性雜質(zhì)對配伍后藥物質(zhì)量的影響，并且輸注中藥注射劑應(yīng)盡可能的使用精密的以減少不溶性微粒帶來的不良反應(yīng)。

8、PLD-601在注射劑或注射用無菌粉末中的檢測

注射劑或注射用無菌粉末中的不溶性微粒是指藥物在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲存、應(yīng)用過程中通過各種途徑產(chǎn)生的流動性的、不溶解的污染顆粒（不含氣泡），這些顆粒會造成毛細(xì)血管栓塞，誘發(fā)血管炎癥，導(dǎo)致 肉芽腫、組織壞死，甚至引發(fā)過敏反應(yīng)和肺動脈高壓等，嚴(yán)重影響到患者的用藥安全，因此，需要對不溶性微粒進(jìn)行嚴(yán)格控制。由于這些微粒直徑小于100μm，肉眼不可見，需要依靠儀器進(jìn)行檢測。2020年版中國藥典、歐洲藥典8.5版和美國藥典38版均有光阻法和顯微鏡法2種方法，光阻法原理為當(dāng)液體中的微粒通過窄小的檢測區(qū)時，與液體流向垂直的入射光被微粒阻擋而減弱，使傳感器輸出的脈沖信號降低，這種信號的變化與微粒的截面積大小成正比并能反映微粒的大小，脈沖信號的多少能反映微粒的數(shù)量，該方法具有自動化程度較高，相對客觀、省時、變異小等優(yōu)勢，目前應(yīng)用更為廣泛。

普洛帝PLD-601不溶性微粒檢查儀是符合藥典規(guī)范要求的針對注射劑或注射用無菌粉末中不溶性微粒進(jìn)行檢測的。

2020年版中國藥典、歐洲藥典8.5版和美國藥典38版均僅對≥10μm和≥25μm的不溶性微粒進(jìn)行了限定，判定標(biāo)準(zhǔn)基本一致，即標(biāo)示裝量≥100 mL的靜脈用注射液，每1mL含≥10μm的微粒數(shù)不得過25粒，≥25μm的微粒數(shù)不得過3粒；標(biāo)示裝量<100 mL的靜脈用注射液、靜脈注射用無菌粉末、注射用濃溶液等，每個樣品容器中含≥10μm 的微粒數(shù)不得過6000粒，≥25μm的微粒數(shù)不得過600粒。

9、半導(dǎo)體晶圓的潔凈度怎么判定

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對工藝技術(shù)的要求越來越高，特別是對半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán)，其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率，在目前的集成電路生產(chǎn)中，由于圓片表面沾污問題，仍有50%以上的材料被損失掉。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，幾乎每道工序中都需要進(jìn)行清洗，圓片清洗質(zhì)量的好壞對器件性能有嚴(yán)重的影響。正是由于圓片清洗是半導(dǎo)體制造工 藝中最重要、最頻繁的工步，而且其工藝質(zhì)量將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性，所以國內(nèi) 外各大公司、研究機(jī)構(gòu)等對清洗工藝的研究一直 在不斷地進(jìn)行。目前已研制出的圓片清洗技術(shù)有：濕 法化學(xué)清洗、超聲清洗、兆聲清洗、鼓泡清洗、擦洗、高壓噴射法、離心噴射法、流體力學(xué)法、流體動力學(xué)法、干法清洗、微集射束流法、激光束清洗、冷凝噴霧技術(shù)、汽相清洗、非浸潤液體噴射法、在線真空清洗 、RCA 清洗、等離子體清洗、原位水沖洗等。這些方法和技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體圓片的清洗工藝中。

如何判斷晶圓是否達(dá)到一定的清潔度。一個重要的途徑就是判斷清洗晶圓的溶液的潔凈度。PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析，目前是英國普洛帝分析測試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。

10、半導(dǎo)體的污染雜質(zhì)和分類一

半導(dǎo)體制造中需要一些有機(jī)物和無機(jī)物參與完成，另外，由于工藝總是在凈化室中由人的參與 進(jìn)行，所以半導(dǎo)體圓片不可避免的被各種雜質(zhì)污染。根據(jù)污染物的來源、性質(zhì)等，大致可分為顆粒、有機(jī)物、金屬離子和氧化物四大類。

1.1 顆粒

顆粒主要是一些聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)等。這類污染物通常主要依靠范德瓦爾斯吸引力 吸附在圓片表面，影響器件光刻工序的幾何圖形的形成及電學(xué)參數(shù)。這類污染物的去除方法主要以物理或化學(xué)的方法對顆粒進(jìn)行底切，逐漸減小其與圓片表面的接觸面積，最終將其去除。

1.2  有機(jī)物

有機(jī)物雜質(zhì)的來源比較廣泛，如人的皮膚油脂、細(xì)菌、機(jī)械油、真空脂、光刻膠、清洗溶劑等。這類污染物通常在圓片表面形成有機(jī)物薄膜阻止清洗液到達(dá)圓片表面，導(dǎo)致圓片表面清洗不*，使得金屬雜質(zhì)等污染物在清洗之后仍完整的保留在圓片表面。這類污染物的去除常常在清洗工序的進(jìn)行，主要使用硫酸和雙氧水等方法進(jìn)行。

PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析，目前是英國普洛帝分析測試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。

11、半導(dǎo)體的污染雜質(zhì)和分類二

1.3  金屬

半導(dǎo)體工藝中常見的金屬雜質(zhì)有鐵、銅、鋁、 鉻 、鎢 、鈦 、鈉 、鉀 、鋰等 ，這些雜質(zhì)的來源主要有：各種器皿、管道 、化學(xué)試劑，以及半導(dǎo)體圓片加工過程中，在形成金屬互連的同時，也產(chǎn)生了各種金屬污染。這類雜質(zhì)的去除常采用化學(xué)方法進(jìn)行，通過各種試劑和化學(xué)藥品配制的清洗液與 金屬離子反應(yīng)，形成金屬離子的絡(luò)合物，脫離圓片表面。

1.4  氧化物

半導(dǎo)體圓片暴露在含氧氣及水的環(huán)境下表 面會形成自然氧化層。這層氧化薄膜不但會妨礙 半導(dǎo)體制造的許多工步，還包含了某些金屬雜 。

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12、UP-200 如何檢測芯片的潔凈度

半導(dǎo)體工業(yè)的電子芯片是我國的大宗進(jìn)口商品，我國的芯片行業(yè)發(fā)展比較緩慢，近期國家的政策也傾向于大力發(fā)展自主性的半導(dǎo)體芯片。在半導(dǎo)體行業(yè)，超純水不同于其他行業(yè)的超純水的要求，有極其嚴(yán)苛的水質(zhì)要求。目前半導(dǎo)體行業(yè)的超純水技術(shù)也是主要由外國企業(yè)所掌握，所以半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造技術(shù)是非常值得研究的項(xiàng)目。

超純水(Ultrapure water)又稱UP水，水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25 ℃)的水。超純水廣泛應(yīng)用于工業(yè)制造業(yè)，食品醫(yī)療行業(yè)，以及實(shí)驗(yàn)室用水中。根據(jù)不同行業(yè)的需求，具體的水質(zhì)指標(biāo)要求也不相同，其中半導(dǎo)體工業(yè)的要求嚴(yán)格，并且有電子級水的國家標(biāo)準(zhǔn)。

UP-200超純水液體粒子計(jì)數(shù)器采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品進(jìn)行在線或離線顆粒監(jiān)測和分析，目前是普洛帝分析測試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。

13、高純電子化學(xué)品潔凈度判定方法

高純電子化學(xué)品是大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路 ( IC)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料，在清洗、光刻 、蝕刻和去膠等許多工序都要使用，它的純度和潔凈度對集成電路的成品率 、電性能及可靠性有著十分重要的影響。由于半導(dǎo)體元件越來越小，集成度越來越高 ,超大規(guī)模集成電路可在 30 mm ×30 mm 的芯片上集成上千萬個元件，工藝技術(shù)的精密度非常高，而且IC產(chǎn)品更新?lián)Q代速度極 快 ，三年即為一代，也就是說一代IC制作技術(shù)需要一代的高純電子化學(xué)品與之配套 ,因此對高純電子化學(xué)品質(zhì)量要求越來越高。

PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析，目前是英國普洛帝分析測試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。

PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器有在線和離線兩種模式，可以對高純電子化學(xué)品的潔凈度進(jìn)行判定。

14、UP-200對電子化學(xué)品用超純水的檢測

高純電子化學(xué)品研究過程中需要使用大量工藝水、洗滌水、循環(huán)水，水質(zhì)對產(chǎn)品質(zhì)量的影響不容忽視。由于高純電子化學(xué)品對雜質(zhì)要求極為嚴(yán)格，所使用的超純水須達(dá)到國標(biāo)一級水標(biāo)準(zhǔn)，即無離子、無可溶性有機(jī)物、無菌、微粒達(dá)標(biāo)、電阻率達(dá)到18. 2MΩcm。我國于1997年制定了電子行業(yè)用超純水國家標(biāo)準(zhǔn)GB / T11446. 121997，分為兩級，一級水相當(dāng)于美國半導(dǎo)體行業(yè)Ⅱ級純水標(biāo)準(zhǔn)。

如果試驗(yàn)過程中誤操作引入不潔凈的水，如洗滌不干凈，或由于循環(huán)水因微小焊縫滲漏，致使產(chǎn)品 Ca、M g、K、N a等離子大大升高，試驗(yàn)結(jié)果和有效性將大打折扣。與此同時，在清洗試驗(yàn)設(shè)備 器皿時也要有一套嚴(yán)格的清洗制度，潔凈用具需上機(jī)檢測潔凈度，盡可能避免引入雜質(zhì)和雜質(zhì)富集而影響最終產(chǎn)品質(zhì)量，因此研發(fā)過程中必須十分重視超純水質(zhì)的問題，配備超純水設(shè)備。

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15、高純電子化學(xué)品的純度和潔凈度

高純電子化學(xué)品的純度和潔凈度對電子產(chǎn)品的成品率和電性能影響巨大，電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)一般不輕易替換正在使用的高純電子化學(xué)品，對其的準(zhǔn)入行業(yè)內(nèi)有嚴(yán)格的不成文的做法。即使用量小的產(chǎn)品也要求是穩(wěn)定的工業(yè)化產(chǎn)品，而不是實(shí)驗(yàn)室樣品，其次必須取得行業(yè)內(nèi)*的國外檢測機(jī)構(gòu)連續(xù)檢測報(bào)告 (不同時間生產(chǎn)的產(chǎn)品至少三次，且檢測項(xiàng)目全部達(dá)標(biāo) ) ，而且樣品的采集一般都不能由生產(chǎn)企業(yè)自行采樣，而是由檢測機(jī)構(gòu)根據(jù)一套嚴(yán)格的程序進(jìn)行現(xiàn)場采樣。

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普洛帝研發(fā)的PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器在高純電子化學(xué)品的潔凈度方面助力企業(yè)產(chǎn)品純化。

16、高純電子化學(xué)品雜質(zhì)

高純電子化學(xué)品雜質(zhì)來源主要由以下幾種方式引入：一是原料帶入 。即需要凈化的原料本身的雜質(zhì)；二是外界引入。由于高純電子級酸多具 有強(qiáng)腐蝕性 ,在實(shí)驗(yàn)和存貯過程中接觸的器皿如不銹鋼設(shè)備 、管道 、泵閥 、螺絲等，塑料設(shè)備和包裝存貯材料 (往往含有增塑劑增強(qiáng)劑 ) ，在長期使用過程中可能存在被腐蝕的問題，有如 Ca、M g、Fe、 Zn、C r、N i等微量離子溶出現(xiàn)象，因此要求必須采 用具備很強(qiáng)的抗腐蝕性和耐磨蝕性，雜質(zhì)溶出率極低的設(shè)備材料。另外，凈化過程中使用的各種 輔助試劑 、水、氣體等也會引入微量雜質(zhì)。( PVD F) 、特富龍 ( Teflon ) 、PFA 等材料 。選用何種材質(zhì)，須針對研發(fā)產(chǎn)品化學(xué)特性、工藝過程特點(diǎn)進(jìn)行相應(yīng)的耐腐蝕、耐磨蝕試驗(yàn)，才能最終選定設(shè)備與存貯材料，特別強(qiáng)調(diào)低溶出率指標(biāo)。

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