在超精密加工過程中，環(huán)境振動對加工精度和表面質(zhì)量有較大的影響。3050加工中心環(huán)境振動的煩擾，不只會引起機床本體的振動，而且更重要的是會引起切削刀具與被加工零件間的方位改動，后者將直接反映到被加工零件的加工表面質(zhì)量上。因而有必要設(shè)置功用優(yōu)秀的隔振設(shè)備。隔振分為無源隔振和有源隔振，其等效模型。
無源隔振3050加工中心這種隔振辦法不需要系統(tǒng)以外的動力設(shè)備支撐隔振設(shè)備工作。3050加工中心傳統(tǒng)的隔振一般都是選用具有一定剛度k和阻尼x的隔振元件的無源隔振。有源隔振，如圖1b。這種隔振辦法需要系統(tǒng)以外的動力設(shè)備支撐隔振設(shè)備工作。其原理是經(jīng)過傳感器將所要消除的振動信號精確地檢測出來，然后經(jīng)過反響系統(tǒng)將所測信號進行一定處置，3050加工中心輸出反響量k1并去控制執(zhí)行機構(gòu)，使所發(fā)作的激振力F抵消振動煩擾，抵達消除振動的目的。
這篇文章在哈爾濱工業(yè)大學研制的以空氣彈簧作為隔振元件的超精密機床上進行有源隔振實驗研討。隔振理論分析無源隔振無源隔振系統(tǒng)模型所示，3050加工中心由牛頓第二定律有為隔振臺振動位移、速度、加速度分別為環(huán)境振動位移、速度。