蔡司三坐標(biāo)測量機(jī)是采用氣浮軸承使運(yùn)動軸的運(yùn)動無磨擦，其原理是將壓縮空氣從氣浮塊的小孔中噴出，在氣浮塊和導(dǎo)軌之間形成一定厚度的氣膜，這個氣膜使測量機(jī)的各軸運(yùn)動時(shí)無摩擦，保證測量機(jī)正常的運(yùn)動狀態(tài)和測量精度。從以上可以看出，氣浮塊的正常浮起狀態(tài)對于測量機(jī)的正常工作非常重要。
1. 壓力對測量機(jī)的影響
在正常工作壓力的前提下，氣浮塊的浮起間隙約4~12μm，空氣壓力的波動會使氣浮塊的氣浮間隙變化，影響測量重復(fù)性。氣壓嚴(yán)重不足時(shí)，會使氣浮塊不能充分浮起造成與導(dǎo)軌摩擦，輕者影響測量機(jī)運(yùn)動狀態(tài)和測量精度，重者會磨損導(dǎo)軌和氣浮塊,嚴(yán)重?fù)p壞測量機(jī)。
Z軸采用氣動平衡的測量機(jī)在氣壓嚴(yán)重不足的情況下會造成Z軸失衡下落的情況，非常危險(xiǎn)。所以要盡量保證測量機(jī)工作壓力的穩(wěn)定。1.要選擇合適的空壓機(jī)，另有儲氣罐，使空壓機(jī)工作壽命長，壓力穩(wěn)定。2.空壓機(jī)的啟動壓力一定要大于工作壓力。3.開機(jī)時(shí)，要先打開空壓機(jī)，然后接通電源。
2. 油和水對測量機(jī)的影響
由于空壓機(jī)對空氣壓縮的同時(shí)會把空氣中的水分子和油分子壓縮成水和油，而且空壓機(jī)本身工作時(shí)也需要有潤滑油對其機(jī)構(gòu)進(jìn)行潤滑，也使得有一部分潤滑油進(jìn)入壓縮空氣。進(jìn)入壓縮空氣的水和油會隨著壓縮空氣進(jìn)入到平衡氣缸和氣浮塊。在測量機(jī)工作時(shí)水和油附著在導(dǎo)軌上，使導(dǎo)軌的直線度改變。當(dāng)測量機(jī)不工作時(shí)管道中的油滴可能堵塞氣浮塊的氣孔，使氣浮塊不能正常浮起，造成氣浮塊與導(dǎo)軌的摩擦，損壞測量機(jī)并使氣管老化。管道中的水還會腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。
油和水都有“附壁”的特性，所以過濾油和水的工作應(yīng)該從空壓機(jī)的輸出管道就開始了，要合理設(shè)置、利用壓縮空氣的輸送管道，盡量多過濾掉油和水。
雖然測量機(jī)配置有過濾器，但是我們只把它看作是“保險(xiǎn)絲”，因?yàn)槿绻麤]有前置過濾器，它的濾芯很快被油糊死，造成氣壓不足而無法工作。為此必須采取前置過濾的方法，盡量爭取在水和油進(jìn)入測量機(jī)之前過濾掉。
3. 對氣路的維護(hù)和保養(yǎng)
由于壓縮空氣對測量機(jī)的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣路的維修和保養(yǎng)非常重要。其中有以下主要項(xiàng)目：
1. 每天使用測量機(jī)前檢查管道和過濾器，放出過濾器內(nèi)及空壓機(jī)或儲氣罐的水和油。
2. 一般3個月要清洗隨機(jī)過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質(zhì)量較差的周期要縮短。因?yàn)檫^ 濾器的濾芯在過濾油和水的同時(shí)本身也被油污染堵塞，時(shí)間稍長就會使測量機(jī)實(shí)際工作氣壓降低，影響測量機(jī)正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。
3. 每天都要擦拭導(dǎo)軌油污和灰塵，保持氣浮導(dǎo)軌的正常工作狀態(tài)。
4. 對測量機(jī)導(dǎo)軌的保護(hù)
測量機(jī)的導(dǎo)軌是測量機(jī)的基準(zhǔn)，只有保養(yǎng)好氣浮塊和導(dǎo)軌才能保證測量機(jī)的正常工作。測量機(jī)導(dǎo)軌的保養(yǎng)除了要經(jīng)常用酒精擦拭外，還要注意不要直接在導(dǎo)軌上放置零件和工具。尤其是花崗石導(dǎo)軌，因其質(zhì)地比較脆，任何小的磕碰會造成碰傷，如果未及時(shí)發(fā)現(xiàn)，碎渣就會傷害氣浮塊和導(dǎo)軌。要養(yǎng)成良好的工作習(xí)慣，用布或膠皮墊在下面，保證導(dǎo)軌安全。
工作結(jié)束后或上零件結(jié)束后要擦拭導(dǎo)軌。
溫度對測量的影響
測量機(jī)是計(jì)量檢測儀器，它的正常工作溫度應(yīng)該是20℃±2℃。測量機(jī)的長度基準(zhǔn)-光柵是在20℃時(shí)修正的，測量機(jī)也是在這個溫度情況下裝配調(diào)試的，當(dāng)溫度偏離太大時(shí)會對測量精度造成很大影響。