早期的三坐標(biāo)測量機(jī)以手動型和通過操縱桿控制機(jī)械運(yùn)動的機(jī)動型為主，當(dāng)時的控制系統(tǒng)主要完成空間坐標(biāo)值的監(jiān)控與實時采樣，隨著計算機(jī)技術(shù)及數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，CNC型控制系統(tǒng)變得日益普及，高精度、高速度、智能化成為三坐標(biāo)坐標(biāo)測量機(jī)發(fā)展的主要趨勢。
CNC型控制系統(tǒng)的測量進(jìn)給是由計算機(jī)控制的，它不僅可以實現(xiàn)自動測量、學(xué)習(xí)測量、掃描測量，也可以通過操縱進(jìn)行手工測量。與手動型相比，CNC型控制系統(tǒng)要復(fù)雜得多，它除具備手動型所有的空間坐標(biāo)測量系統(tǒng)、瞄準(zhǔn)系統(tǒng)外，還要實現(xiàn)對三軸機(jī)械運(yùn)動的控制。同時要求每個軸的運(yùn)動要求平穩(wěn)可靠，以保證測量精度。每個軸的運(yùn)動都是由一套伺服系統(tǒng)控制的，要求三軸甚至轉(zhuǎn)臺精確配合，以實現(xiàn)聯(lián)動，保證按設(shè)定的空間軌跡運(yùn)行，自動完成測量任務(wù)。為確保測量機(jī)的安全及測量數(shù)據(jù)的可靠，還要對測量機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實時監(jiān)測，所有這些都是程序控制實現(xiàn)的，由于控制復(fù)雜，運(yùn)算及處理量大，用一個CPU控制，實時性很難保證，因此常常由多個CPU并行處理。