1.反向越?jīng)_

反向越?jīng)_的產(chǎn)生，是由于當(dāng)機(jī)床某一個(gè)軸向某一方向驅(qū)動(dòng)，然后必須向相反方向反向移動(dòng)時(shí)，該軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)施加的扭矩不夠，造成在換向處由于摩擦力的方向發(fā)生改變而出現(xiàn)短時(shí)的粘性停頓。反向越?jīng)_將使圓弧插補(bǔ)刀具軌跡出現(xiàn)一個(gè)小平臺(tái)后再向原軌跡復(fù)位的臺(tái)階。在圖形上表現(xiàn)為：在某軸上有一小尖峰，尖峰大小隨機(jī)床進(jìn)給率的不同而變化。

2.反向間隙

當(dāng)機(jī)床某一軸出現(xiàn)絲杠磨損、螺母損壞或?qū)к壞p等情況時(shí)，會(huì)導(dǎo)致滾珠絲杠中扭曲過大而引起反向間隙。反向間隙在球桿儀檢測(cè)圖形中表現(xiàn)為：在沿某軸線處有沿圖形中心外凸(正值)或內(nèi)凹(負(fù)值)的一個(gè)或數(shù)個(gè)臺(tái)階，其大小通常不受機(jī)床進(jìn)給率的影響。

3.伺服不匹配

如果用球桿儀檢測(cè)圓度誤差時(shí)診斷出伺服不匹配，表明機(jī)床的一根軸超前于另一軸。根據(jù)不同被測(cè)軸間的關(guān)系，伺服不匹配可能為正，也可能為負(fù)。以XY平面為例，若為正值,則說明Y軸超前于X軸,為負(fù)值則相反。超前軸的增益較高。

4.比例不匹配

比例不匹配誤差是指在測(cè)試中被測(cè)量軸間的行程差，例如，機(jī)床在XY平面內(nèi)運(yùn)行一個(gè)圓周，理論上X軸和Y軸運(yùn)行的距離應(yīng)*相同。如果有不同，兩軸間運(yùn)動(dòng)位置差就是比例不匹配誤差。如果給出比例不匹配的值為正值，那么X軸移動(dòng)距離超過Y軸。否則相反。

5.垂直度

垂直度誤差是因?yàn)楸粶y(cè)試機(jī)床的X軸和Y軸相互間不為90度，兩軸可能有局部彎曲或機(jī)床軸可能整體未調(diào)直、機(jī)床軸可能剛性不夠?qū)е履承┎课徊恢薄⒒蛘邫C(jī)床導(dǎo)軌可能過分磨損導(dǎo)致機(jī)床在運(yùn)動(dòng)時(shí)軸中有一定間隙。