技術(shù)文章
PVD和CVD涂層方法
閱讀:9386 發(fā)布時間:2013-6-20涂層方法 目前生產(chǎn)上常用的涂層方法有兩種:物理氣相沉積(PVD) 法和化學(xué)氣相沉積(CVD) 法。 前者沉積溫度為500℃,涂層厚度為2~5μm;后者的沉積溫度為900℃~1100℃,涂層厚度可達5~10μm,并且設(shè)備簡單,涂層均勻。因PVD法未超過高速鋼本身的回火溫度,故高速鋼刀具一般采用PVD法,硬質(zhì)合金大多采用CVD法。硬質(zhì)合金用CVD法涂層時,由于其沉積溫度高,故涂層與基體之間容易形成一層脆性的脫碳層(η相),導(dǎo)致刀片脆性破裂。 近十幾年來,隨著涂覆技術(shù)的進步,硬質(zhì)合金也可采用PVD法。國外還用PVD/CVD相結(jié)合的技術(shù),開發(fā)了復(fù)合的涂層工藝,稱為PACVD法(等離子體化學(xué)氣相沉積法)。即利用等離子體來促進化學(xué)反應(yīng),可把涂覆溫度降至400℃以下(目前涂覆溫度已可降至180℃~200℃),使硬質(zhì)合金基體與涂層材料之間不會產(chǎn)生擴散、相變或交換反應(yīng),可保持刀片原有的韌性。據(jù)報道,這種方法對涂覆金剛石和立方氮化硼(CBN)超硬涂層特別有效。 用CVD法涂層時,切削刃需預(yù)*行鈍化處理(鈍圓半徑一般為0.02~0.08mm,切削刃強度隨鈍圓半徑增大而提高),故刃口沒有未涂層刀片鋒利。所以,對精加工產(chǎn)生薄切屑、要求切削刃鋒利的刀具應(yīng)采用PVD法。 涂層除可涂覆在普通切削刀片上外,還可涂覆到整體刀具上,目前已發(fā)展到涂覆在焊的硬質(zhì)合金刀具上。據(jù)報道,國外某公司在焊接式的硬質(zhì)合金鉆頭上采用了PCVD法,結(jié)果使加工鋼料時的鉆頭壽命比高速鋼鉆頭長10倍,效率提高5倍。 涂層成份又有哪些呢?各自的區(qū)別在哪里,應(yīng)用面怎樣。 通常使用的涂層有:TiC、TiN、Ti(C.N)、Gr7O3、Al2O3等。以上幾種CVD的硬質(zhì)涂層基本具備低的滑動摩擦系數(shù),高的抗磨能力,高的抗接觸疲勞能力,高的表面強度,保證表面具有足夠的尺寸穩(wěn)定性與基體之間有高的粘附強度。
東莞匯成真空科技有限公司針對工模具鍍等功能的嚴(yán)格的技術(shù)要求,公司于2000轉(zhuǎn)型之初斥巨資聘請國內(nèi)外工具鍍膜專家、進行反復(fù)試驗、磨合,zui終于04年成功研發(fā)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的新一代工模具超硬膜離子鍍膜機,該設(shè)備專為在工具、刀具、模具上鍍硬質(zhì)或超硬保護膜而設(shè)計。真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運動部件的設(shè)計和用材,充分考慮可承受高溫,配置多只園形電弧蒸發(fā)源,或配多個矩形平面電弧蒸發(fā)源,也可配多只空心陰極槍,同時配置耐沖擊的、具有優(yōu)異滅閃弧性能的偏壓電源,保證足夠等離子體密度和反應(yīng)活性,提高膜層致密性和結(jié)合力。工件可三維運動,提高膜層均勻性。全自動控制提高工藝穩(wěn)定性。可鍍制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多層超硬膜等,應(yīng)用于精密模具業(yè)(沖壓模具、剪切模具、標(biāo)準(zhǔn)件模具、成型模具等)、工具行業(yè)(鉆頭、硬質(zhì)合金、銑刀、拉刀、絲錐和齒輪刀具等),汽車工業(yè)(活塞、活塞環(huán)、合金輪轂等)。
東莞市匯成真空科技有限公司可根據(jù)用戶要求設(shè)計各種規(guī)格型號的真空鍍膜機。真空機組及電控系統(tǒng)也可根據(jù)用戶要求進行設(shè)計配置。