基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)：
　　　　型  號： FUNCTION 564
 n 行     程： X軸  500 mm
 Y軸   600 mm
 Z軸  400 mm
 ˉ 結(jié)構(gòu)型式：活動橋式
 ˉ 傳動方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
 ˉ 長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
 ˉ 機(jī)    臺：高精度（00級）花崗巖平臺
 ˉ 使用環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
 ˉ 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
 ˉ 空氣流量：120 L/min – 140 L/min
 ˉ 整機(jī)尺寸（LWH）：1.2m X 1.4 m X 2.3 m
 ˉ 機(jī)臺承重：500 kg ，整機(jī)重量：850 Kg
 空間測量精度：（2.80+L/300）μm