碳化硅毛坯籽晶帶球面晶錠晶棒廠家

作為碳化硅坯料生產(chǎn)廠商，恒邁瑞為客戶提供4英寸6英寸碳化硅毛坯籽晶帶球面晶錠晶棒，用于測(cè)試弧度球面的面形和缺陷，同時(shí)測(cè)試碳化硅Si面缺陷。導(dǎo)電型碳化硅坯料厚度約10-20mm，未經(jīng)過頭尾切片，研磨拋光等工序。

高質(zhì)量碳化硅晶錠切片成翹曲小、厚度均勻，否則會(huì)給后續(xù)的研磨和拋光帶來很大的困難。一般采用金剛石線鋸將碳化硅切成晶圓，總厚度變化（TTV）小于30 μm，翹曲度（Warp）小于20 μm。

研磨是規(guī)模化生產(chǎn)中加工碳化硅襯底的第二步。碳化硅斷裂韌性低，研磨難度大，對(duì)開裂非常敏感。研磨過程需要涉及到轉(zhuǎn)速、壓力、砂粒大小、磨料密度等諸多參數(shù)。因此，研磨過程需要嚴(yán)格選擇操作參數(shù)以大限度地提高磨削率，同時(shí)控制表面完整性。