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準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)

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參考價: ￥ 1000000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Ex-Power

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地廊坊市

在線詢價收藏產(chǎn)品

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更新時間：2023-12-02 11:26:46瀏覽次數(shù)：762次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  激光加工系統(tǒng)
  定制系統(tǒng)方案

  其他品牌

準(zhǔn)源激光技術(shù)河北有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：河北廊坊市

聯(lián)系人：王濤（市場）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

Ex-Power是新一代準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)。采用了高穩(wěn)定性的激光器作為光源，通過精密的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，在光束傳導(dǎo)過程中，對激光光斑進(jìn)行整形和勻化，并通過專用的投影物鏡，將激光均勻照射在材料表面。該系統(tǒng)具備結(jié)構(gòu)緊湊、光斑勻化效果好、傳輸效率高、能量密度大等優(yōu)勢。將紫外準(zhǔn)分子激光技術(shù)和高精度的機(jī)械運(yùn)動系統(tǒng)相結(jié)合，大大提高了激光剝離的質(zhì)量和效率，非常適合工藝研發(fā)和批量工業(yè)生產(chǎn)。

詳細(xì)介紹

準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)

技術(shù)特點(diǎn)：

1、193/248/308nm 激光器，短脈寬，高峰值功率；

2、靜態(tài)氣體壽命 >30 天；

3、激光器壽命 >5億次脈沖；

4、能量密度 10J/cm2；

5、多種光路方案，可定制；

6、同軸機(jī)器視覺示意圖，所見即所得，反射/透射同軸照明；

7、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動，±1mm精度；

8、電動焦點(diǎn)控制（沿 Z 軸）；

9、配有同軸和離軸相機(jī)，模式識別軟件可選；

10、功能全面，易于操作的專用加工軟件；

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、LED 藍(lán)寶石襯底剝離；

2、柔性屏與玻璃基板剝離；

3、微流控芯片；

4、柔性電路板加工；

5、玻璃表面微結(jié)構(gòu)；

6、MiniLED剝離；

7、MircoLED剝離巨量轉(zhuǎn)移；

8、激光修復(fù)；

9、晶圓與載體激光解鍵合；

光束傳播特點(diǎn)：

1、能量控制范圍 10-80%；

2、縮倍比 4x-20x；

3、焦距 25mm~150mm；

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；

準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖

準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)參數(shù)：

波長	193nm / 248nm / 308nm
脈沖寬度	5-20ns
單次剝離尺寸	< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm線光斑
光學(xué)分辨率	1um
能量密度	10J/cm2
脈沖穩(wěn)定性	~1%
脈沖重復(fù)頻率	1-100Hz/1000Hz
系統(tǒng)框架	大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu)
機(jī)器視覺	同軸照明/觀察，所見即所得
投影物鏡	紫外超長工作距離物鏡
X/Y軸電動平臺	100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1um重復(fù)定位精度
Z軸電動平臺	25mm，±1um重復(fù)定位精度
電動衰減器	10%-80%電動連續(xù)可調(diào)
控制軟件	10%-80%電動連續(xù)可調(diào)