專業(yè)的全自動(dòng)芯片PAD管腳清洗設(shè)備，穩(wěn)定性好、加工質(zhì)量好、成品率高、加工效率特別快。
Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù)，使激光均勻照射到材料表面，對(duì)材料進(jìn)行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，集成度高，光路穩(wěn)定實(shí)用，光斑勻化效好，傳輸效率高，增強(qiáng)樣品表面激光能量密度，提高加工質(zhì)量和效率。

詳細(xì)介紹

激光清洗系統(tǒng)

應(yīng)用行業(yè)：

1、微電子行業(yè)：晶圓面板激光清洗、電路板清洗；

2、OLED微型顯示器芯片：芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗；

3、文物藝術(shù)品保護(hù)：無損還原；

4、汽車產(chǎn)業(yè)：各種焊接處焊后激光清洗；

5、其它：材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術(shù)特點(diǎn)：

1、靜態(tài)氣體壽命 >30天；

2、激光器壽命 >20億次脈沖；

3、多種光路方案，可定制；

4、反射/透射照明；

5、X，Y位移臺(tái)安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動(dòng)，1μm分辨率；

6、電動(dòng)焦點(diǎn)控制（沿Z軸）；

7、配有同軸和離軸相機(jī)，模式識(shí)別軟件可選；

8、快速響應(yīng)時(shí)間，易于操作的軟件；

9、同軸機(jī)器視覺示意圖，所見即所得。

光束傳播特點(diǎn)：

1、能量控制 10-80% ；

2、投影縮倍4x-20x ，可定制；

3、工作距離>25mm；

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；

5、同軸顯微成像；

6、光斑勻化系統(tǒng)。

軟件功能：

1、圖形化加工路徑顯示；

2、晶圓自動(dòng)聚焦、自動(dòng)對(duì)位；

3、大視野晶圓導(dǎo)航圖；

4、激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試；

5、加工進(jìn)程控制、中斷自動(dòng)恢復(fù)；

6、芯片參數(shù)導(dǎo)入；

7、壞點(diǎn)剔除功能；

激光清洗系統(tǒng)參數(shù)：

波長	193nm /248nm
脈沖寬度	5-10 ns
單光斑加工面積	＞400um x400um
光學(xué)分辨率	1um
能量密度	>10J/cm2
脈沖穩(wěn)定性	≤2%
脈沖重復(fù)頻率	1-1000Hz
系統(tǒng)框架	大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu)
機(jī)器視覺	同軸照明/觀察，所見即所得
投影物鏡	紫外超長工作距離物鏡
掩膜版位移臺(tái)	100mm x100mm，定位精度:±1um
Z軸電動(dòng)平臺(tái)	50mm行程，±1μm重復(fù)定位精度
衰減器	電動(dòng)可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80%
控制軟件	LPCPro3D自動(dòng)加工處理軟件