Hisomet高精度三次元工具顯微鏡
為光學(xué)金相顯微鏡與X、Y、Z三軸高精密可動(dòng)平臺(tái)所組成的尺寸量測(cè)設(shè)備。其中，Z軸量測(cè)精度可達(dá)±1μm，此外，光學(xué)非接觸式量測(cè)設(shè)計(jì)，可避免量測(cè)過(guò)程中對(duì)待測(cè)物造成損傷。依客戶需求，可搭配專業(yè)化的量測(cè)軟體及相關(guān)配件。
UNION三次元工具顯微鏡特性：

• 三眼式機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)，除基本的雙眼觀察，可外接CCD輸出高畫(huà)質(zhì)影像至影像顯示器。
• 可搭配三軸高精度光學(xué)尺，連接外接顯示器可快速讀取xyz三軸數(shù)值。
• 砲塔式旋轉(zhuǎn)物鏡座，可依實(shí)際需求選擇搭配適當(dāng)倍率之物鏡。
• 大範(fàn)圍XY平臺(tái)移動(dòng)行程，支援300x300mm工件之跨畫(huà)距尺寸量測(cè)。
• Z軸超高精度量測(cè)，量測(cè)精度可達(dá)±1μm。
• 多元化的軟體功能，支援尺寸量測(cè)、CAD繪圖等進(jìn)階功能操作。
• 可調(diào)式背光光源，提供待測(cè)物之輪廓量測(cè)。
• Z軸光學(xué)式輔助對(duì)焦符號(hào)，降低人眼對(duì)焦誤差。
• 提供兩種不同的對(duì)焦符號(hào)，可任意切換。
• 具備明、暗視場(chǎng)，可依待測(cè)物表面狀況隨時(shí)切換。

工具顯微鏡應(yīng)用範(fàn)圍：
IC封裝產(chǎn)業(yè)(金線弧高、段差量測(cè))、機(jī)械產(chǎn)業(yè)、學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)等需要高精度三次元量測(cè)的待測(cè)物(Sample)

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