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詳細(xì)介紹
特點
- 吸筆前端能夠自由活動不但能夠應(yīng)對水平擺放的晶圓，還能夠從晶圓片盒，晶圓Cassette中取放晶圓片
同時還可以用于晶圓之外的各種物體的搬運(yùn) - 利用旋風(fēng)效應(yīng)吸附晶圓,吸盤不需要和晶圓接觸
- 和被吸附物接觸的吸盤墊片（材質(zhì)：氟橡膠）能夠緩沖吸附過程中的沖擊力，并且不需要夾持被吸附物的邊緣
- 前端吸盤模塊和本體之間使用了可調(diào)節(jié)的軟管結(jié)構(gòu)，作業(yè)員能夠任意地調(diào)節(jié)吸盤和本體之間的相對角度
廣受設(shè)備廠商好評的產(chǎn)品，可吸附厚度80微米的減薄晶圓
應(yīng)用設(shè)備實例
半導(dǎo)體后道工序生產(chǎn)工廠
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | 2, 3寸, 100～150 mm 可為客戶定制適用于200 mm，300 mm晶圓的產(chǎn)品 | |
|---|---|---|
| 材質(zhì) | 鋁合金（前端） | |
| 表面處理 | 旋風(fēng)吸盤：黑色陽極氧化處理 前端其他部分：白色陽極氧化處理 | |
| 晶圓吸附方式 | 利用旋風(fēng)吸盤提供吸力并利用氟橡膠材 質(zhì)的墊片保持晶圓和吸盤之間的相對位置 | |
| 允許搬運(yùn)重量 | 50 g以下 | |
| 使用氣體 | 潔凈空氣，N2 | |
| 供給壓力 | 0.3 MPa以下（吸筆本體的入口處） | |
| 氣體流量 | 15 L/min | |
| 質(zhì)量 | 110 g | |
- 開關(guān)部分的相對滑動部件之間沒有使用潤滑油
- 旋風(fēng)吸盤 標(biāo)配數(shù)量：1個
- 墊片（材質(zhì)：氟橡膠）通過和晶圓接觸起到了保持晶圓和吸盤之間相對位置的作用
- 連接件 120度類型（默認(rèn)出廠狀態(tài)), 90度類型（附件）
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