機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
詳細(xì)介紹
特點
- 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運(yùn)
- 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
- 自動識別儲片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
- 可自動識別晶圓高度
- 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
- 搭載儲片盒自動開蓋機(jī)構(gòu)
- 可對應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲片盒
- 配備高效過濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
- 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)
可安全準(zhǔn)確的搬運(yùn)儲片盒的的薄片。
應(yīng)用設(shè)備實例
半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線
規(guī)格
| 可對應(yīng)片盒的種類 | 300 mm 儲片盒, 300 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬運(yùn)物 | 300 mm 硅晶圓, 300 mm 儲片盒內(nèi)墊片(片間墊片) | |||
| 潔凈度 | 配備高效過濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度 | |||
| 外形尺寸 | 1350 (寬) x 1434 (深) x 1900 (高) | |||
| 廠務(wù) | 電源：AC200V±10% 潔凈氣源：0.5 MPa 250 NL/min 以上 真空：-70 kPa 以上 | |||
| 重量 | 450 kg | |||
*我司可以針對客戶對晶圓尺寸,儲片盒數(shù)量,片盒數(shù)量,是否需要校準(zhǔn)器等不同需求提供定制設(shè)計。
可對應(yīng)多家廠商規(guī)格的儲片盒。更多信息請咨詢弊司。
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