機床商務網(wǎng)
詳細介紹
特點
- 配備水平多軸機械手臂（GCR4310-500-AM）可以在沒有機械手臂本體水平移動軸的條件下，同時滿足4個6寸晶圓盒的晶圓傳輸
- 500 mm的Z軸行程可適應上下2層片盒的布局
- 配備手指翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的機械手臂適應于在不接觸晶圓工藝表面條件下的反裝晶圓的傳輸
- 機械手臂腕部可以安裝晶圓Mapping Sensor，用于片盒內(nèi)各層晶圓的有無檢測
- 出于安全面的考慮，設(shè)備維護門上安裝有門開關(guān)傳感器，保證機械手臂動作過程中的人員安全
- 可以選裝能夠檢測玻璃（透明被搬運物）的校準器（SAL3361GR）
- 可以根據(jù)客戶端設(shè)備需求，任意修改對接模塊的設(shè)計（HOST通訊方式需要另行商議）
- 另外，根據(jù)客戶需求，可定制不同規(guī)格要求的產(chǎn)品
適用多種設(shè)備，通用性好，可根據(jù)客戶要求進行定制設(shè)計，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準器
應用設(shè)備實例
PE-CVD設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運物 | 150 mm 晶圓（玻璃, 藍寶石, GaAs） | |||
|---|---|---|---|---|
| 處理量 | 140片/h（不包括裝備的處理時間） | |||
| 動作范圍 | 到達距離 （被搬運物體中心） | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | 翻轉(zhuǎn)軸 |
| 672mm | 335度 | 500 mm | 180度 | |
| 搬運速度 （平均速度） | 機械臂 | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 550 mm/秒 | 300度/秒 | 300 mm/秒 | ||
| 搬運速度 （速度） | 機械臂 | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 900 mm/秒 | 400度/秒 | 450 mm/秒 | ||
| 不配備翻轉(zhuǎn)裝置 真空吸引搬運 | 機械臂 | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 1800 mm/秒 | 540度/秒 | 500 mm/秒 | ||
| 反復偏差值 | ±0.1 mm以內(nèi) | |||
| 位置精度 | 中心定位 ±0.2mm以內(nèi) 切邊定位 ±0.2度以內(nèi) | |||
| 位置確定所需時間 | 槽口檢測 3秒以內(nèi) (不實行從新夾持動作) | |||
| 位置補正范圍 | 半徑4mm以內(nèi) | |||
| <系統(tǒng)> | ||||
| 晶圓保持方式 | 真空吸引 | |||
| 清凈度 | ISO標準 Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下） | |||
| 占用空間 | 640 mm×835 mm (不包括觸摸屏) | |||
| 質(zhì)量 | 大約350 kg | |||
| 廠務 | 電源：單相交流200V±10% 15A 真空：-53 kPa以上 | |||
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