特點(diǎn)

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬運(yùn)，雙手臂結(jié)構(gòu)，玻璃基板搬運(yùn)效率更高



• 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：400 mm，500 mm
• Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z軸超過760 mm以上為多段式，實(shí)物和照片的外觀不同）
• 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)15 kgf以下(400 mm，500 mm)
• 雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
• 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
• 配備動(dòng)作監(jiān)視器
• 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
• 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
• S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板
• 基板固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
• 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
• 手指可以安裝多種傳感器（校準(zhǔn)，有無，Mapping等）
• 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

AOI設(shè)備；液晶工廠內(nèi)生產(chǎn)線