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    半導(dǎo)體激光器制作技術(shù)、工作原理及應(yīng)用全面梳理!

    閱讀:545          發(fā)布時(shí)間:2022-12-15

    自1962年一臺(tái)半導(dǎo)體激光器發(fā)明問(wèn)世以來(lái),半導(dǎo)體激光器發(fā)生了巨大的變化,極大地推動(dòng)了其他科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,被認(rèn)為是二十世紀(jì)人類最偉大的發(fā)明之一。近十幾年來(lái),半導(dǎo)體激光器的發(fā)展更為迅速,已成為世界上發(fā)展的一門激光技術(shù)。半導(dǎo)體激光器的應(yīng)用范圍覆蓋了整個(gè)光電子學(xué)領(lǐng)域,已成為當(dāng)今光電子科學(xué)的核心技術(shù)。由于半導(dǎo)體激光器的體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、輸入能量低、壽命較長(zhǎng)、易于調(diào)制以及價(jià)格較低廉等優(yōu)點(diǎn),使得它目前在光電子領(lǐng)域中應(yīng)用非常廣泛,已受到世界各國(guó)的高度重視。

    半導(dǎo)體激光器是以直接帶隙半導(dǎo)體材料構(gòu)成的 Pn 結(jié)或 Pin 結(jié)為工作物質(zhì)的一種小型化激光器。半導(dǎo)體激光工作物質(zhì)有幾十種,目前已制成激光器的半導(dǎo)體材料有砷化鎵、砷化銦、銻化銦、硫化鎘、碲化鎘、硒化鉛、碲化鉛、鋁鎵砷、銦磷砷等。

    半導(dǎo)體激光器的激勵(lì)方式主要有三種:即電注入式 、光泵式和高能電子束激勵(lì)式。絕大多數(shù)半導(dǎo)體激光器的激勵(lì)方式是電注入,即給 Pn 結(jié)加正向電壓,以使在結(jié)平面區(qū)域產(chǎn)生受激發(fā)射 ,也就是說(shuō)是個(gè)正向偏置的二極管 。因此半導(dǎo)體激光器又稱為半導(dǎo)體激光二極管。對(duì)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō),由于電子是在各能帶之間進(jìn)行躍遷 ,而不是在分立的能級(jí)之間躍遷,所以躍遷能量不是個(gè)確定值, 這使得半導(dǎo)體激光器的輸出波長(zhǎng)展布在一個(gè)很寬的范圍上。它們所發(fā)出的波長(zhǎng)在0.3~34μm之間。其波長(zhǎng)范圍決定于所用材料的能帶間隙 ,見(jiàn)的是AlGaAs雙異質(zhì)結(jié)激光器,其輸出波長(zhǎng)為750~890nm。


    半導(dǎo)體激光器制作技術(shù)經(jīng)歷了由擴(kuò)散法到液相外延法(LPE), 氣相外延法(VPE),分子束外延法(MBE),MOCVD 方法(金屬有機(jī)化合物汽相淀積),化學(xué)束外延(CBE)以及它們的各種結(jié)合型等多種工藝。
    半導(dǎo)體激光器的缺點(diǎn)是:激光性能受溫度影響大,光束的發(fā)散角較大(一般在幾度到20度之間),所以在方向性、單色性和相干性等方面較差。但隨著科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展, 半導(dǎo)體激光器的研究正向縱深方向推進(jìn) ,半導(dǎo)體激光器的性能在不斷地提高。以半導(dǎo)體激光器為核心的半導(dǎo)體光電子技術(shù)在 21 世紀(jì)的信息社會(huì)中將取得更大的進(jìn)展,發(fā)揮更大的作用。
    1、在產(chǎn)業(yè)和技術(shù)方面的應(yīng)用

    1)光纖通信。半導(dǎo)體激光器是光纖通信系統(tǒng)的實(shí)用化光源,光纖通信已成為當(dāng)代通信技術(shù)的主流。
    2) 光盤存取。半導(dǎo)體激光已經(jīng)用于光盤存儲(chǔ)器,其是存儲(chǔ)的聲音、文字和圖象信息量很大。采用藍(lán)、綠激光能夠大大提高光盤的存儲(chǔ)密。
    3) 光譜分析。遠(yuǎn)紅外可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器已經(jīng)用于環(huán)境氣體分析,監(jiān)測(cè)大氣污染、汽車尾氣等。在工業(yè)上可用來(lái) 監(jiān)測(cè)氣相淀積的工藝過(guò)程。
    4) 光信息處理。半導(dǎo)體激光器已經(jīng)用于光信息理系統(tǒng)。表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器 二 維陣列是光并行處理系統(tǒng)的理想光源,將用于計(jì)算機(jī)和光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)。
    5) 激光微細(xì)工。借助于Q開關(guān)半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生的高能量超短光沖,可對(duì)集成電路進(jìn)行切 割、打孔等。
    6) 激光報(bào)警器。半導(dǎo)體激光報(bào)警器用途 甚廣,包括防盜報(bào)警、水位報(bào)警、車距 報(bào)警等。
    7) 激光打印機(jī)。高功率半導(dǎo)體激光器已經(jīng)用于激光打印機(jī)。采用藍(lán)、綠激光能夠大大提高打印速度和分辨率。
    8) 激光條碼掃描器。半導(dǎo)體激光條碼掃描器已經(jīng)廣泛用于商品的銷售,以及圖書和檔案的管理。
    9) 泵浦固體激光器。這是高功率半導(dǎo)體激光器的一個(gè)重要應(yīng)用,采用它來(lái)取代原來(lái)的氛燈,可以構(gòu)成全固態(tài)激光系統(tǒng)。
    10) 高清晰度激光電視。不久的將來(lái),沒(méi)有陰極射線管的半導(dǎo)體激光電視機(jī)可以投放市場(chǎng),它利用紅、藍(lán)、綠三色激光,估計(jì)其耗電量比現(xiàn)有的電視機(jī)低20%。
    2、在醫(yī)療和生命科學(xué)研究方面的應(yīng)用
    1)激光手術(shù)治療。半導(dǎo)體激光已經(jīng)用于軟組織切除,組織接合、凝固和汽化。普通外科、整形外科、皮膚科、泌尿科、婦產(chǎn)科等,均廣泛地采用了這項(xiàng)技術(shù)。
    2)激光動(dòng)力學(xué)治療。將對(duì)腫瘤有親合性的光敏物質(zhì)有選擇地聚集于癌組織內(nèi),通過(guò)半導(dǎo)體激光照射,使癌組織產(chǎn)生活性氧,旨在使其壞死而對(duì)健康組織毫無(wú)損害。
    3)生命科學(xué)研究。使用半導(dǎo)體激光的“光鑷",可以撲捉活細(xì)胞或染色體并移至 任意位置,已經(jīng)用于促進(jìn)細(xì)胞合成,細(xì)胞相互作用等研究,還可以作為法醫(yī)取證的診斷技術(shù)。


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