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詳細(xì)介紹
階差規(guī)
516系列
特點(diǎn)：
l 階差減小的高度從到NO.5。
l 相鄰階差校準(zhǔn)的分辨率0.01μm，使用干涉儀的精度測(cè)量的線性偏差為±0.20μm
l 可選用鋼制型和陶瓷型。
l 階差規(guī)用于校準(zhǔn)相鄰高度的精度。
性能參數(shù)
公制型
| 貨號(hào) | 備注 |
| 516-198 | 鋼制型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm） |
| 516-199 | 鋼制型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm） |
| 516-498 | 陶瓷型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm） |
| 516-499 | 陶瓷型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm） |
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