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    技術(shù)文章

    淺談光柵式測(cè)微儀

    閱讀:781          發(fā)布時(shí)間:2022-9-21
    光柵式測(cè)微儀也稱光柵測(cè)微儀、光柵長(zhǎng)度計(jì)或光電測(cè)長(zhǎng)儀,是以光柵副作為測(cè)量元件,將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號(hào),經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長(zhǎng)度精密測(cè)量?jī)x器(摘自JJF 1682-2017)

    圖片


    光柵式測(cè)微儀是一種接觸式精密傳感器,現(xiàn)在小編以半導(dǎo)體制造工程、汽車制造工程為例,“圖說(shuō)”光柵式測(cè)微儀的測(cè)量應(yīng)用和測(cè)量原理。

     

     

    應(yīng)用之

    半導(dǎo)體制造工程

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    半導(dǎo)體制造工程示意圖

    點(diǎn)擊查看大圖

     

    01


    輥縫檢測(cè)


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    圖片

    02


    基板厚度的檢測(cè)


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    03


    芯片平行度的檢測(cè)


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    04


    FPD基板的多點(diǎn)檢測(cè)

     

    圖片

    圖片

    05


    測(cè)量壓接端子的鉚合高度


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    圖片

    06


    復(fù)印機(jī)部品的平行度檢測(cè)


    圖片

     

     

    圖片

     

     

    應(yīng)用之

    汽車制造工程

    圖片

    圖片

    汽車生產(chǎn)線示意圖/點(diǎn)擊查看大圖

     

     

    01


    汽車凸輪軸的位移量測(cè)量


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