外型尺寸（mm）
（L*W*H)

1950 X 1280 X 1700

測量范圍（mm）(X*Y*Z)

600*500*200

測量精度（μm）

2.5+L/200

重復(fù)精度（μm）

2.5

儀器重量（kg）

560

影像及測量

CCD

200萬像素高清GIGA數(shù)字相機

物鏡

全自動變倍物鏡1~10X

總放大倍率

18-195X（根據(jù)選配相機的不同型號，其放大倍率隨之改變；實際倍率以實測數(shù)據(jù)為準(zhǔn)）

物方視場

8.1~1.3mm（根據(jù)相機與鏡頭的不同搭配方案，視場大小會隨之改變，實際視場以實測數(shù)據(jù)為準(zhǔn)）

工作距離

82mm

光柵尺解析度

0.1μm

驅(qū)動系統(tǒng)

CNC控制，交流全閉環(huán)伺服馬達驅(qū)動；搖桿控制，鼠標(biāo)/鍵盤控制

照明光源

可程控LED八分區(qū)環(huán)形表面光，LED底部平行光（可選配：40分區(qū)環(huán)形光，同軸光，可升降彩色光源）