詳細介紹 XRV 交叉滾柱音圈模組系列系列,包含音圈電機動定子、十字交叉滾柱導軌、光柵尺反饋系統(tǒng)及載臺,即裝即用,占用空間小適用于高剛性、高精度、高平面度及直線度的場合性能特點:模塊化設計, 應用了直線音圈電機雙重精密線型交叉滾柱導軌行程可達20mm模塊的設計配備編碼器編碼器的高分辨率有0.1um, 20nm或5nm 應用領域:半導體、光學電子、食品制藥、組裝包裝汽車生產(chǎn)檢測、生物生化檢測取樣、自動化測試高速掃描,數(shù)碼影像系統(tǒng)高效的焊接、貼片、組裝、測試與檢測設備光學元件的搬運與檢測,各種精密而高速運動設備
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