詳細(xì)介紹 集成化音圈模組設(shè)計(jì)，包含音圈電機(jī)動(dòng)定子、導(dǎo)軌、光柵尺反饋系統(tǒng)及載臺(tái)，即裝即用性能特點(diǎn)：系模塊化設(shè)計(jì), 應(yīng)用了圓柱形音圈電機(jī)單重線導(dǎo)軌或滑軌系統(tǒng)行程可從15mm到30mm直接驅(qū)動(dòng),無背隙和無嵌齒效應(yīng)模塊的設(shè)計(jì)配備編碼器編碼器的高分辨率有1.0um或0.1um反應(yīng)快,帶寬高
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