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超光滑表面無損檢測儀項(xiàng)目績效評(píng)價(jià)會(huì)簡報(bào)
閱讀：217 發(fā)布時(shí)間：2022-8-312021年12月9日，組織項(xiàng)目研制單位、推薦單位以及國內(nèi)相關(guān)行業(yè)的專家采用視頻會(huì)議的方式，對(duì)以成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司牽頭單位聯(lián)合研制的 “超光滑表面無損檢測儀"項(xiàng)目進(jìn)行了項(xiàng)目績效評(píng)價(jià)。專家組審閱了相關(guān)材料，聽取了項(xiàng)目承擔(dān)單位對(duì)項(xiàng)目總體的情況進(jìn)行匯報(bào)，觀看了項(xiàng)目儀器的測試視頻。經(jīng)過專家組的質(zhì)詢和討論，一致認(rèn)為該項(xiàng)目研制了φ150mm、測量精度20nm的超光滑表面無損檢測儀產(chǎn)品，并擴(kuò)展了φ300mm立式超大口徑超光滑表面無損檢測儀產(chǎn)品樣機(jī)以及多功能系統(tǒng)分析軟件，實(shí)現(xiàn)了實(shí)際應(yīng)用。該項(xiàng)目完成了任務(wù)書規(guī)定的項(xiàng)目任務(wù)書目標(biāo)和考核指標(biāo)，達(dá)到了預(yù)期目標(biāo)，通過了項(xiàng)目績效評(píng)價(jià)。
圖1 項(xiàng)目績效評(píng)價(jià)視頻會(huì)議現(xiàn)場
以成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司為牽頭單位，協(xié)同國內(nèi)多家技術(shù)實(shí)力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)研制的超光滑表面無損檢測儀，該儀器主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛的應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)的快速檢測，還可應(yīng)用于大型現(xiàn)代光學(xué)工程系統(tǒng)，如大型高功率固體激光系統(tǒng)、極紫外光刻、航空航天空間光學(xué)等領(lǐng)域中大口徑元件面形、材料特性等參數(shù)測量。
該項(xiàng)目的研制成功，可以實(shí)現(xiàn)超光滑表面無損檢測儀器國產(chǎn)化，替代國外同類產(chǎn)品，打破國外公司的技術(shù)壟斷和價(jià)格壁壘。項(xiàng)目儀器的研制將帶動(dòng)國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，超光滑表面無損檢測儀將在半導(dǎo)體照明、太陽能新能源，高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路以及國家重大光學(xué)工程等相關(guān)行業(yè)和領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。改變現(xiàn)在采用的接觸式測量方式，大大提高檢測精度和測試效率，對(duì)于這些應(yīng)用行業(yè)和領(lǐng)域具有巨大的帶動(dòng)和促進(jìn)作用。項(xiàng)目產(chǎn)品如下圖：
圖 2 儀器產(chǎn)品樣機(jī)成果
項(xiàng)目形成了高精度面形測試與寬范圍基片表面參數(shù)無損檢測、多功能測試兼容的超光滑干涉測試智能分析、12英寸晶圓參數(shù)測量等創(chuàng)新成果，申請(qǐng)了發(fā)明40項(xiàng)，發(fā)明19項(xiàng)，登記軟件著作權(quán)3項(xiàng)，發(fā)布企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)，形成了成套工藝質(zhì)量文件，相關(guān)產(chǎn)品形成了市場銷售。組織管理規(guī)范，管理制度健全，技術(shù)檔案基本完整，發(fā)揮了“兩組一委"的作用，培養(yǎng)了相關(guān)技術(shù)人員，形成了一支具有儀器研發(fā)、設(shè)計(jì)、集成、銷售、服務(wù)能力的綜合團(tuán)隊(duì)。
項(xiàng)目牽頭單位成都太科光電技術(shù)有限公司是國內(nèi)專業(yè)從事集高精度光學(xué)干涉檢測儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的。公司具有一支從事光學(xué)設(shè)計(jì)、軟件開發(fā)、機(jī)械設(shè)計(jì)、電子控制等專業(yè)齊全、產(chǎn)品研制經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)。
同時(shí)感謝四川省、成都市和成都市高新區(qū)人才局等地方政府，對(duì)成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司承擔(dān)的《超光滑表面無損檢測儀》項(xiàng)目都給予了極大的關(guān)注，對(duì)項(xiàng)目的發(fā)展也給與了極大的政策支持，保障了本項(xiàng)目的順利完成！