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激光干涉儀，以光的波長為已知總長度，使用邁克耳遜干涉系統(tǒng)精確測量偏移的常用尺寸測量。
該設(shè)備的管理維護(hù)方法：
1、激光干涉儀應(yīng)避免出現(xiàn)在環(huán)境溫度變化大、有風(fēng)、濕冷區(qū)域環(huán)境下精確測量，這個時候檢驗結(jié)果將接收到非常大的不良影響。
2、該設(shè)備需要定人保管，機械加工技術(shù)組相關(guān)工作人員專人常用，專人檢驗，別人不可以任意使用，可以預(yù)防毀壞，減少精確度。

3、激光干涉儀要設(shè)定專庫儲存，區(qū)域環(huán)境規(guī)定干燥、透風(fēng)、抗震、防霧鏡、防污、防銹處理。儀器設(shè)備應(yīng)維持空氣干燥。

4、對儀器設(shè)備要小心輕放，避免出現(xiàn)明顯的沖擊性震動，安裝使用儀器設(shè)備前要查驗三腳架的結(jié)實性，全部操作全過程中相關(guān)工作人員不可以離去儀器設(shè)備，避免 意外事故出現(xiàn)。
5、主要負(fù)責(zé)人要每個月對激光干涉儀的電子元件進(jìn)行核對，并查詢是不是有毀壞、損壞等異常現(xiàn)象，將檢查報告給予辦理備案。
6、干涉儀儀器設(shè)備所適用的筆記本為常用筆記本，該筆記本不可以借出去，也無法安裝使用一切其他軟件，避免 軟件矛盾和病毒感染，確保精確測量信息的精確，可以預(yù)防精確測量內(nèi)容丟失。
7、精確測量相關(guān)工作人員在取放干涉儀前，首先需要填好激光干涉儀使用申請表，填好申請表后，主要負(fù)責(zé)人首先需要查驗干涉儀電子元件詳細(xì)程度，電子元件是不是保持良好。