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激光干涉儀以光波為媒介，具備測量精度高、精確測量速度更快、檢測范圍大、Zgao限速下屏幕分辨率高的特性，其光波波長可立即對米開展界定并追溯至國家行業(yè)標準。因而，干涉儀普遍使用于數(shù)控車床、PCB鉆孔設(shè)備、座標測量儀、位移計等儀器儀表的質(zhì)量管理與校正及其產(chǎn)品研發(fā)、高檔設(shè)備制造等行業(yè)。
干涉儀日常使用特別注意的事項，以激光波長為已經(jīng)知道長短，使用邁克耳遜干涉系統(tǒng)精確測量移動的通用性長度測量。

1、激光干涉儀應妥當?shù)胤诺礁稍辍⑶謇淼奈葑永铮苊庹饎樱瑑x器設(shè)備挪動時，應貼緊基座，防止滑軌形變。

2、電子光學零件無需時，應儲放在整潔的干躁盆中，以避免起霉。后視鏡、分光鏡一般不允許擦洗，必需擦洗時，須先用配件刷子當心撣去塵土，再用脫油清理棉花球滴上乙醇和醫(yī)用溶液輕拭。
3、傳動系統(tǒng)構(gòu)件應該有較好的潤化。尤其是滑軌、滾珠絲桿、螺帽與孔軸一部分，使用T5高精密儀表盤油潤化。
4、使用時，各調(diào)整位置用勁要適度，不可以強旋、硬扳。
5、滑軌面滾珠絲桿應避免刮傷、生銹，用畢后，仍維持不失油情況。
6、激光干涉儀通過高精密調(diào)節(jié)的儀器設(shè)備構(gòu)件上的螺釘，都涂有清漆，不可以私自旋轉(zhuǎn)。