詳細介紹
TTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅動部分,能夠實現(xiàn)高精度、高剛性的動作。 同時,由于采用了上下軸伸縮式的結構,因此無論是想將物品搬至高處或是低處,此設備都能做到。
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更新時間:2022-07-07 17:47:01瀏覽次數(shù):564
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