產(chǎn)品簡介 NTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅(qū)動部分,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動作。