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                                 隨著奈米時代的來臨，許多科技產(chǎn)業(yè)對精密度的要求已經(jīng)從微米(micrometer)，次 微米 (sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環(huán)境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外，振動會是首先必須面對的問題。 

    德國 BILZ公司以40年的防振實務(wù)經(jīng)驗，研發(fā)出氣電控制主動防振系統(tǒng) AIS (Active Isolation System)。 


    AIS的推出已實際有效協(xié)助各科技產(chǎn)業(yè)解決所面臨的振動問題，如半導(dǎo)體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產(chǎn)業(yè)。     		                          
                            
                            
                              
                                                                                                                      
                            
                              		                    
                      
                      
                        
                                               
                      
                      
                        
                                                    
                              
                                                                產(chǎn)品規(guī)格                          
                            
                            
                              
                                                                
                                    
                                                                       
                                  
                                    		                          
                            
                            
                              
                                                                                                                                                                                   
                            
                            
                              
                                 
    ■ AIS 主動防振系統(tǒng)產(chǎn)品的特點
    1. 主動式氣電控制，可同時控制六個自由度。 
    2. 化防振效果，沒有共振問題。 
    3. 水平與垂直向定位精密度高。 
    4. 穩(wěn)定時間超短，定位速度快。 
    5. 沒有熱源，不會產(chǎn)生磁場，耗電低。 
    6. 專有的感測控制器，結(jié)合位移、加速度、氣壓等精密感測器和控制微處理器於一體。直接感測控制每個自由度，可達到即時控制，效率極高。 
    ■ AIS主動防振系統(tǒng)的使用時機：
    1. 防振要求等級非常高，如VC-E。 
    2. 設(shè)備水平定位精度要求高並要快速穩(wěn)定。 
    3. 避免共振影響。 
    ■ AIS主動防振系統(tǒng)的產(chǎn)品規(guī)格：需由使用端提供資料與環(huán)境測試再評估。 
     使用範(fàn)例
    		                          
                            
                            
                              
                                                                                                                                                                                   
                            
                            
                              
                                                                                                                      
                            
                              		                    
                      
                      
                        
                                                
                      
                                              
                
    
            
    
        
    
         

        
        
    
    
    


    
    
     
    
    
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