針對(duì)10 × 10 mm 的測(cè)量區(qū)域，可瞬間獲取8萬(wàn)個(gè)點(diǎn)的高度。由於採(cǎi)用白光干涉原理，不受材質(zhì)、顏色、死角的影響，實(shí)現(xiàn)了微米級(jí)的高精度測(cè)量。

量測(cè)多點(diǎn)時(shí)，必須高精度且高速地掃描目標(biāo)物。 因此往往會(huì)將時(shí)間耗費(fèi)在移動(dòng)載物臺(tái)上，難以執(zhí)行全數(shù)檢查。然而 WI-5000 系列以面執(zhí)行同時(shí)量測(cè)，所以能夠大幅縮短量測(cè)時(shí)間，實(shí)現(xiàn)全數(shù)檢查。

為了在離線檢查使用，準(zhǔn)備了固定感測(cè)頭的專用支架。 還搭載了可減少檢查工時(shí)的各種實(shí)用功能。改善從簡(jiǎn)易量測(cè)到資料儲(chǔ)存等各種場(chǎng)合的操作性。