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    IL-S 細(xì)小光束感測(cè)頭超解析度演算法的配置[業(yè)界]重覆精度 1 μm線性度 F.S. 的 ±0.05% [同類中]150 萬(wàn)倍的動(dòng)態(tài)範(fàn)圍 [同類中]

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    • 線性度 F.S. 的 ±0.05% [同類中]
    • 150 萬(wàn)倍的動(dòng)態(tài)範(fàn)圍 [同類中]

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