UNION DCM雙面對位測定機

特性：

• DCM系列獨特的上、下雙鏡頭設(shè)計，為雙面對位量測所開發(fā)的非接觸式光學(xué)量測儀器。
• DCM可由目鏡（或顯示器）分別觀看正面、背面及雙面結(jié)合影像。
• 搭配精密的測量平臺，可分別測量待測物（sample）的 正、反面的X、Y軸數(shù)據(jù)。
• 顯示雙面結(jié)合影像時可測量正、反面的對位差，精度。
• 總和倍率由50倍至1000倍（上、下鏡頭倍率須相同）。

應(yīng)用範(fàn)圍：

• 各種雙面製程的對位測量
• 晶圓（Wafer) 正、反面凸塊或兩面溝槽的對位測量
• 導(dǎo)線架的正／反兩面的對位測量
• 微機電（MEMS）的正、反面的對位測量

1. 鏡頭選擇裝置，選擇上鏡頭 (Top）後，調(diào)整焦距使畫面為一清晰之影像
2. 鏡頭選擇裝置，再選擇下鏡頭 (Bottom），調(diào)整焦距使畫面為一清晰之影像
3. 鏡頭選擇裝置，再選擇雙面結(jié)合影像，可同時看見正、反面的記號並測量正、反面記號的對位差