Hisomet高精度三次元工具顯微鏡
為光學(xué)金相顯微鏡與X、Y、Z三軸高精密可動(dòng)平臺所組成的尺寸量測設(shè)備。其中，Z軸量測精度可達(dá)±1μm，此外，光學(xué)非接觸式量測設(shè)計(jì)，可避免量測過程中對待測物造成損傷。依客戶需求，可搭配專業(yè)化的量測軟體及相關(guān)配件。
UNION三次元工具顯微鏡特性：

• 三眼式機(jī)臺設(shè)計(jì)，除基本的雙眼觀察，可外接CCD輸出高畫質(zhì)影像至影像顯示器。
• 可搭配三軸高精度光學(xué)尺，連接外接顯示器可快速讀取xyz三軸數(shù)值。
• 砲塔式旋轉(zhuǎn)物鏡座，可依實(shí)際需求選擇搭配適當(dāng)倍率之物鏡。
• 大範(fàn)圍XY平臺移動(dòng)行程，支援300x300mm工件之跨畫距尺寸量測。
• Z軸超高精度量測，量測精度可達(dá)±1μm。
• 多元化的軟體功能，支援尺寸量測、CAD繪圖等進(jìn)階功能操作。
• 可調(diào)式背光光源，提供待測物之輪廓量測。
• Z軸光學(xué)式輔助對焦符號，降低人眼對焦誤差。
• 提供兩種不同的對焦符號，可任意切換。
• 具備明、暗視場，可依待測物表面狀況隨時(shí)切換。

工具顯微鏡應(yīng)用範(fàn)圍：
IC封裝產(chǎn)業(yè)(金線弧高、段差量測)、機(jī)械產(chǎn)業(yè)、學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)等需要高精度三次元量測的待測物(Sample)

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