三次元工具顯微鏡

• 採用光學(xué)Z軸對焦符號非接觸式檢測待測物（SamPle）高度／深度，避免造成待測物（SamPle）刮傷或變形。
• 可加裝測量軟體，並運(yùn)用量測統(tǒng)計(jì)分析（SPC）管制、WORD、EXCEL快速製作量測報(bào)告。
• 可單獨(dú)選購Z軸對焦符號，加裝到其它三次元工具顯微鏡，有效提高Z軸精度。

應(yīng)用範(fàn)圍：

• 錫球高度
• 金線弧高
• 銅箔高度
• 晶圓高度／深度
• 電子、機(jī)械各類產(chǎn)品高度／深度檢測

Z軸對焦符號

多種標(biāo)準(zhǔn)測定平臺可供選擇