液晶面板製造暨檢查設(shè)備

電路整列製程設(shè)備（Array Fabrication）及彩色濾光片製程設(shè)備（C/F,Color Filter Process)

玻璃基板表面檢查設(shè)備

• 於對(duì)坡璃基板表面異物檢查及製程管理
• 對(duì)應(yīng)基板的大型化、薄型化的發(fā)展趨勢(shì)。
• 具有節(jié)省無(wú)塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裡分離能力等優(yōu)點(diǎn)。

近接式曝光機(jī)

• 最以X Y Step方式對(duì)應(yīng)第10代基板尺寸的近接式曝光機(jī)
• 比投影式曝光機(jī)臺(tái)具有成本上優(yōu)勢(shì)
• 採(cǎi)用高功率的曝光光源