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詳細(xì)介紹
光譜橢偏儀Alpha-SE非破壞性薄膜厚度量測(cè)儀是J.A. Woollam橢偏儀產(chǎn)品中，設(shè)計(jì)用來(lái)快速量測(cè)一般薄膜材料的簡(jiǎn)易橢偏儀，具有高性價(jià)比，量測(cè)橢偏數(shù)據(jù)快速的特點(diǎn)，可進(jìn)行非破壞性薄膜厚度量測(cè)，無(wú)論是，氧化物薄膜量測(cè)，氮化物薄膜量測(cè)、光阻厚度量測(cè)，只要是透光薄膜皆可量測(cè)，量測(cè)波長(zhǎng)380-900nm，並有65度/70度/75度/90度的量測(cè)角度可調(diào)整，單點(diǎn)量測(cè)約3秒即可取得橢偏數(shù)據(jù)，軟體內(nèi)見(jiàn)許多種數(shù)學(xué)函數(shù)來(lái)描述穿透膜吸、收膜層的特性：如Lorents、Gaussian、Harmonic等。
橢偏儀Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測(cè)儀特點(diǎn)
- 非破壞性、非接觸性：光學(xué)式量測(cè)，無(wú)須接觸與破壞樣品。
- 高度精確性與重複性：因其並非量測(cè)光之實(shí)際強(qiáng)度，而是量測(cè)光之強(qiáng)度比例，橢圓偏振較不受光源之不穩(wěn)定性或是大氣環(huán)境吸收光之影響。
- 可測(cè)得極薄的膜厚：測(cè)量的Δ參數(shù)具有高度的靈敏度，所以可測(cè)得超薄的膜厚(<10nm)，可用於光阻厚度量測(cè)、氧化物量測(cè)。>
- 簡(jiǎn)便：先進(jìn)的分析軟件配合按鈕式操作便可輕鬆完成測(cè)試
- 優(yōu)異：相比其他技術(shù)，先進(jìn)的光譜橢偏儀為您提供更可靠的薄膜厚度及折射率數(shù)據(jù)
- 靈活：可測(cè)量各種材料：電介質(zhì)、半導(dǎo)體、有機(jī)物、光阻厚度、氧化物...
- *：合理價(jià)格的價(jià)格擁有出色的光譜橢偏技術(shù)
- 快速：數(shù)秒鐘內(nèi)完成數(shù)百個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的測(cè)試—結(jié)果立等可取
- VCSEL量測(cè)
- 氮/氧化物薄膜量測(cè)
- ITO量測(cè)
- OLED有機(jī)材料薄膜量測(cè)
橢圓偏光儀Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測(cè)
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