準(zhǔn)分子雷射EnergyMaxSensors-先鋒科技股份有限公司

參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

相干公司準(zhǔn)分子雷射EnergyMax傳感器專門針對(duì)搭配ArF雷射（193nm時(shí)）使用以及搭配KrF雷射（248nm時(shí)）使用進(jìn)行了優(yōu)化

詳細(xì)介紹

相干公司準(zhǔn)分子雷射 EnergyMax 傳感器專門針對(duì)搭配 ArF雷射（193 nm 時(shí)）使用以及搭配 KrF雷射（248 nm 時(shí)）使用進(jìn)行了優(yōu)化。準(zhǔn)分子雷射EnergyMax 系列傳感器具有高精度以及大有效面積（ 50 mm），並利用創(chuàng)新塗層而具備出色的長(zhǎng)期防損性。EnergyMax 系列包括四個(gè)不同型號(hào)，其中兩個(gè)型號(hào)針對(duì)193 nm 時(shí)的工作進(jìn)行了優(yōu)化，還有兩個(gè)專門用於248 nm（儘管所有型號(hào)都能夠準(zhǔn)確地測(cè)量紫外線、可見(jiàn)光和近紅外線）。這些傳感器利用我們新的 MaxUV 塗層，該塗層在深紫外線波長(zhǎng)上具有高損壞閾值，並且在長(zhǎng)期暴露於紫外線中時(shí)具有出色的抗性，並且可以高達(dá) 400 Hz 的重複頻率工作。這些傳感器採(cǎi)用了 MaxUV 塗層，在長(zhǎng)時(shí)間紫外線暴露時(shí)該塗層可在深紫外線波長(zhǎng)上提供高抗損性以及抗漂移性。 EnergyMax 系列產(chǎn)品也是“智能"傳感器，並採(cǎi)用了板載電子器件，可自動(dòng)針對(duì)環(huán)境溫度進(jìn)行修正，還具有內(nèi)建波長(zhǎng)補(bǔ)償因子。這些傳感器兼容 Coherent LabMax-Pro SSIM、LabMax-TOP、FieldMaxII-TOP 和 FieldMaxII-P 儀表。還提供支持 USB 和 RS232 的型號(hào)。所有準(zhǔn)分子傳感器可使用選配的散熱器，這些散熱器可由用戶方便地附接以擴(kuò)展能量或平均功率範(fàn)圍。這些散熱器特別可讓J-25MUV-193 和-248 傳感器在高達(dá)18 W 的平均功率下使用，並可讓J-50MUV-193 和-248 傳感器在高達(dá)43 W 的平均功率下使用（均在193 nm 時(shí)）。
準(zhǔn)分子雷射EnergyMaxSensorsB 主要參數(shù)：

波長(zhǎng)範(fàn)圍：
能量範(fàn)圍：

準(zhǔn)分子雷射EnergyMaxSensors 特點(diǎn)：

的 MaxUV 塗層提升損壞閾值、長(zhǎng)期紫外線暴露抗性，並且讓工作具有高重複率
在 190 nm 到 2.1 µm 的範(fàn)圍內(nèi)工作
支持從 50 µJ 到 250 mJ 的脈衝能量測(cè)量
以高達(dá) 400 Hz 的重複率測(cè)量單次發(fā)射
內(nèi)建在每個(gè)裝置中的光譜補(bǔ)償特性
板載傳感器提供自動(dòng)溫度補(bǔ)償

準(zhǔn)分子雷射EnergyMaxSensors 系列規(guī)格：

PN
1110741	J-25MUV-193	50µJ-100mJ, 400 Hz, 25mm energy sensor with MaxUV coating for 193nm (RoHS)
1110745	J-25MUV-248	125µJ-250mJ, 400 Hz, 25mm energy sensor with MaxUV coating for 248nm (RoHS)
1146237	J-50MUV-193	125µJ-250mJ, 200 Hz, 50mm energy sensor with MaxUV coating for 193nm (RoHS)(w/o Diffuser)
1110575	J-50MUV-193	125µJ-250mJ, 200 Hz, 25mm energy sensor with MaxUV coating for 193nm (RoHS)
1110572	J-50MUV-248	500µJ-1J, 200 Hz, 50mm energy sensor with MaxUV coating and diffuser for 248nm (RoHS)
1146243	J-50MUV-248	500µJ-1J, 200 Hz, 50mm energy sensor with MaxUV coating for 248nm (RoHS) (w/o Diffuser)