採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結(jié)構(gòu)表面形貌。

MLP-3 全周輪廓掃描式表面輪廓儀，量軸X/Y/Z/θ/AF五軸都用光學(xué)尺解析且每一軸可單獨控制，對於精密小尺寸、非對稱形結(jié)構(gòu)之外徑或內(nèi)徑輪廓量測，有極大發(fā)揮空間，適合各種產(chǎn)業(yè)小樣品量測或內(nèi)徑輪廓粗度量測需求。

MLP-3量測應(yīng)用如螺絲與滾珠螺桿導(dǎo)程角量測，小模數(shù)齒輪齒形量測與評價，刀具刀R角輪廓粗度量測，鑽石伸線眼模的孔模斷面輪廓，近期元宇宙商機(jī)使用虛擬實境VR眼鏡中的扶涅爾鏡片F(xiàn)resnel Lens，MLP-3也可精準(zhǔn)將輪廓量出來。

• 適合量測材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
• 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
• 適合量測工件：超精密加工模仁、超精刀、精密立銑刀、小模數(shù)齒輪、精密小端子零件、鋼珠鋼銶、滾珠螺桿、精密滑軌、精密模仁
• 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
• 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體

TYPE C零件外部金屬殼，中空扁平行狀，兩邊為圓弧狀，外殼端面有些向內(nèi)凹的微小輪廓。

本案例說明如何利用MLP-3量測儀器來量測TYPE C機(jī)殼的外部輪廓與內(nèi)部輪廓。圖一為TYPE C零件置放在治具載臺上畫像。

圖二為零件外部全周輪廓圖，如果將掃描密度提高可量測樣品表面粗糙度。

金屬殼2端面之肉厚量測方式，PAP量測方式可以聚焦到深溝穴，設(shè)定量測儀器取樣密度與量測路徑，MLP-3依照程式進(jìn)行全周輪廓量測，圖三顯示零件輪廓圖。外徑、內(nèi)徑、肉厚，輪廓量測方式可量測輪廓度、粗糙度、平面度。

MLP-3為5軸控制點雷射聚焦表面輪廓掃描量測儀器，符合ISO 25178-605規(guī)範(fàn)之PAP量測法，非接觸式可精準(zhǔn)掃描零件內(nèi)外部輪廓計算肉厚，對於異形工件量測有莫大助益。

齒輪齒形量測多半是使用接觸式探針量測齒形輪廓，隨著齒輪精密度提升，小模數(shù)齒輪開發(fā)，接觸式觸針量測齒腹與齒底時因探針結(jié)構(gòu)限制，在量測上產(chǎn)生一些精度困擾，於是非接觸式量測方法漸漸被操作者接受。

圖一 小模數(shù)內(nèi)齒輪量測方式

本案例說明三鷹光器公司AFOT方法量測小模數(shù)齒輪齒形，參考圖一畫像為一小尺寸內(nèi)徑齒輪量測照片，這種齒距極小，接觸式觸針量測方式受到極大挑戰(zhàn)。

使用日本三鷹光器公司MLP-3量測儀器量測小模數(shù)齒輪的全周輪廓圖形如圖二所示，內(nèi)齒輪內(nèi)徑約8mm，齒數(shù)80，齒輪模數(shù)0.1。

圖二 內(nèi)齒輪全周輪廓圖

如果要分析齒形3D輪廓，我們提供一套CAD比對軟體，可將樣品3D掃描完成座標(biāo)數(shù)據(jù)套用CAD設(shè)計式做比對，建公差範(fàn)圍，得到3D圖示。圖三顯示量測3D數(shù)據(jù)與CAD擬合結(jié)果。

圖三 樣品公差用CAD擬合

日本三鷹光器公司的齒形量測儀器MLP-3，採用ISO標(biāo)準(zhǔn)規(guī)範(fàn)認(rèn)可的點雷射探針量測法，量測數(shù)據(jù)比美高階接觸式量測儀精度，具有下述優(yōu)勢：
1.非接觸式，無探針耗材及探針磨損造成量測不確定性。
2.量測速度快，提高檢測樣品數(shù)量。
3.齒形評價，齒形輪廓，齒面粗糙度，一機(jī)完成量測。
4.齒輪模數(shù)小於0.5以下占有極大量測優(yōu)勢。
5.諧波齒輪鋼輪與柔輪，正齒輪，斜齒輪，內(nèi)齒輪，傘齒輪…皆可測定。