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    重型模具輪廓量測(cè) NH-5Ns

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    更新時(shí)間:2022-06-02 11:16:39瀏覽次數(shù):438

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    廠牌 : 三鷹光器日本三鷹光器公司生產(chǎn)非接觸式點(diǎn)雷射聚焦表面輪廓量測(cè)儀NH-5Ns,應(yīng)用於重型且大行程樣品表面輪廓量測(cè),可承重100kgw,Z軸空間可以改造,量測(cè)表面幾何輪廓,平面度、粗糙度、非球面,可應(yīng)用於10吋以下樣品之全域面積掃描,及擴(kuò)充自動(dòng)化量測(cè)。

    詳細(xì)介紹

    產(chǎn)品說(shuō)明

    採(cǎi)用點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦方式(符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測(cè)原理),雷射聚焦樣品表面掃描,當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um,可量測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌。

    NH-5Ns 適合量測(cè)模具等重型工件掃描式表面輪廓儀,多種倍率量測(cè)物鏡選擇及電動(dòng)鼻輪切換倍率,可拍照記錄量測(cè)位置,方便觀察並標(biāo)示出量測(cè)位置是否有缺陷。

    量程X/Y/Z為300/400/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析,樣品放置空間X/Y/Z為300/400/120mm,適合100KgW以下載重各種樣品量測(cè)需求,NH-5N量測(cè)機(jī)可改造符合樣品工件量測(cè)機(jī)種。獨(dú)特AF功能可偵測(cè)樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測(cè)軟體達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)需求。

    特色

    • 適合量測(cè)材料:鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
    • 一次量測(cè)樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
    • 適合量測(cè)工件:模具、大型工件如HUD、12吋大鏡片
    • 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體:2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
    • 選購(gòu)分析軟體:批次分析、2D/3D CAD比對(duì)軟體、非球面評(píng)價(jià)軟體
    • 量測(cè)軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案,成功案例HUD、汽缸壁粗度量測(cè)

    規(guī)格

    重型模具輪廓量測(cè) NH-5Ns
    X軸 Y軸 AF(Z1)軸
    (量測(cè)用)
    Z2軸
    (定位用)
    量測(cè)距離 300mm 400mm 10mm 120mm
    定位分辨率 0.1µm 0.1µm 0.01µm 0.1µm
    光學(xué)尺 光學(xué)尺 光學(xué)尺 脈衝
    精度 (2+4L/1000) µm (2+4L/1000) µm (0.3+0.5L/10) µm (3+L/10) µm
    顯微鏡光學(xué)系統(tǒng) 光學(xué)系統(tǒng) 無(wú)限遠(yuǎn)聚焦光學(xué) f = 180mm
    雷射聚焦尺寸(Spot) ? 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、
    ? 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、
    ? 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、
    ? 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm)
    鼻輪 馬達(dá)控制
    自動(dòng)對(duì)焦 重現(xiàn)性 σ=0.03µm(鏡面(樣品)表面) 使用100X
    雷射規(guī)格 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2)
    載物臺(tái) XY平臺(tái)尺寸 400x480mm
    樣品高度 120mm
    樣品重量 100kg
    其他 儀器尺寸 2100x1420x1720 mm
    避震器 氣浮式(空氣壓力:5kgf/cm2
    儀器重量 1500kg
    消費(fèi)電力 1000W (100V 10A)
    AF軸(選購(gòu)) 15mm、20mm
    Z2軸(選購(gòu)) 光學(xué)尺精度 (2+3L/100) um

    HUD 抬頭顯示器

    抬頭顯示器HUD,自由曲面鏡FREE FORM,鏡片尺寸比一般鏡片大許多,面形量測(cè)方式若使用接觸式方法,量測(cè)時(shí)間非常久,樣品表面容易刮傷,量測(cè)用的接觸針?lè)浅H菀啄p。使用影像非接觸式方式雖然在樣品表面噴上銀粉後能快速掃描3D面形,但是噴上銀粉後的表面精度會(huì)改變,噴銀粉的技術(shù)成為面形量測(cè)變數(shù)之一,另外銀粉耗材也是考量之一。

    三鷹光器公司提供了直接量測(cè)大面積透明曲面的解決方案,樣品數(shù)十公分的鏡面大小,也能輕易量測(cè)微米級(jí)的表面形貌差異變化。

    HUD量測(cè)範(fàn)例

    快速面形比對(duì),使用3D CAD比對(duì)方式是選擇之一,三鷹光器雷射自動(dòng)聚焦表面輪廓儀,掃描樣品表面輪廓,XYZ 3軸座標(biāo)都是光學(xué)尺量測(cè)數(shù)據(jù),量測(cè)精度有保障。3D CAD擬合比對(duì)方法設(shè)定公差上下限,從圖面上可判定量測(cè)誤差。

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