三鷹光器NH系列量測儀器評價傾斜角度小於±30°之鏡片與模仁，非球面擬合精度保證小於±0.1um。高NA及傾角曲度超過±30°輪廓之光學(xué)透鏡與模仁之非球面輪廓量測與評價，三鷹光器提供SE迴轉(zhuǎn)裝置改善傾斜角度過大產(chǎn)生散射問題。

非球面量測NH系列量測儀器提供自動尋心功能，XY軸光學(xué)尺定位精度0.1um，確保SE裝置傾斜時聚焦也在定心範圍內(nèi)，下圖說明SE量測鏡片的原理，這個範例假設(shè)鏡片傾角60°，設(shè)定SE傾斜 -30° /0°/30° 3段量測鏡片輪廓，最後再將3段輪廓拼貼成完整輪廓並套用非球面評價軟體進行擬合。

SE裝置可依鏡片面形複雜程度設(shè)定迴轉(zhuǎn)角度，例如元宇宙中虛擬實境（VR眼鏡）使用菲涅爾鏡片F(xiàn)RESNEL LENS。SE裝置角度設(shè)定±90°。

• SE裝置用於鏡片或模仁傾斜角度大於±30°、高NA光學(xué)透鏡之輪廓量測
• 傾斜角度±90°。
• 可安裝於NH系列量測儀器。
• 應(yīng)用：鏡片、數(shù)位相機、DVD讀寫頭、聚光鏡、球面鏡、微透鏡陣列、鑽石刀刃輪廓、光纖端面曲率半徑、內(nèi)視鏡、非球面鏡模仁。

高傾角曲度輪廓之光學(xué)透鏡與模仁之非球面輪廓量測與評價，NH系列量測儀器皆可選購SE迴轉(zhuǎn)裝置進行高經(jīng)度量測。

下圖一為直徑5mm標準參考球斷面輪廓。使用SE裝置設(shè)定7段進行拼貼量測，標準球輪廓量測角度±88°。

圖一 直徑5mm標準參考球斷面輪廓

使用非球面評價軟體進行數(shù)據(jù)擬合，圖二顯示擬合誤差PV±0.04um。由範例可了解鏡片經(jīng)過X/AR/AF 3軸座標量測，三鷹光器非接觸式量測方式依然有高精度表現(xiàn)。

圖二 非球面擬合 Best R 擬合誤差 PV±0.04um