NH-3Ns 非接觸光學(xué)輪廓儀-志隆國(guó)際科技有限公司

參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

廠牌 : 三鷹光器日本三鷹光器公司生產(chǎn)非接觸式點(diǎn)雷射聚焦表面輪廓量測(cè)儀NH-3Ns，除了輪廓量測(cè)功能外還可以量測(cè)影像尺寸量測(cè)，屬於表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面、影像量測(cè)複合機(jī)，可應(yīng)用於6吋以下樣品之全域面積掃描，及擴(kuò)充自動(dòng)化量測(cè)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品說(shuō)明

採(cǎi)用點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測(cè)原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um，可量測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌。

NH-3Ns 適合6寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測(cè)物鏡選擇及電動(dòng)鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測(cè)位置，方便觀察並標(biāo)示出量測(cè)位置是否有缺陷。

量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測(cè)需求。獨(dú)特AF功能可偵測(cè)樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測(cè)軟體達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)需求。

特色

適合量測(cè)材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
一次量測(cè)樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
輪廓量測(cè)：自動(dòng)尋心、Alignment、參考平面修正、程式點(diǎn)矩陣高度座標(biāo)量測(cè)
影像量測(cè)：圓徑、線寬、線距、粒子分析、Alignment Mark Pattern Matching
標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
選購(gòu)分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對(duì)軟體、非球面評(píng)價(jià)軟體
量測(cè)軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案

規(guī)格

NH-3Ns 非接觸光學(xué)輪廓儀

		X軸	Y軸	AF(Z1)軸（量測(cè)用）	Z2軸（定位用）
量測(cè)距離		150mm	150mm	10mm	100mm
定位分辨率		0.1µm	0.1µm	0.01µm	0.1µm
尺		光學(xué)尺	光學(xué)尺	光學(xué)尺	脈衝
精度		(2+4L/1000) µm	(2+4L/1000) µm	(0.3+0.5L/10) µm	(3+L/10) µm
顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)	光學(xué)系統(tǒng)	無(wú)限遠(yuǎn)聚焦光學(xué) f = 100mm
	雷射聚焦尺寸(Spot)	? 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 ? 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 ? 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 ? 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm)
	鼻輪	馬達(dá)控制
自動(dòng)對(duì)焦	重現(xiàn)性	σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面）使用100X
自動(dòng)對(duì)焦	雷射規(guī)格	半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2)
載物臺(tái)	XY平臺(tái)尺寸	244x240mm
	樣品高度	105mm
	樣品重量	12kg
其他	儀器尺寸	1550x900x1400 mm
	避震器	氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm²）
	儀器重量	210kg
	消費(fèi)電力	700W (100V 7A)
	AF軸（選購(gòu)）	15mm、20mm
	Z2軸（選購(gòu)）	光學(xué)尺精度 (2+3L/100) um

光學(xué)特性量測(cè)

NH-3Ns 結(jié)合顯微鏡影像量測(cè)觀察與雷射表面自動(dòng)聚焦功能，屬於多功能研究開(kāi)發(fā)型表面3D輪廓量測(cè)儀器，顯微鏡電動(dòng)鼻輪自動(dòng)切換光學(xué)倍率，XY軸光學(xué)尺定位精度0.1um，Z軸量測(cè)精度10nm光學(xué)尺保證精度。