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詳細(xì)介紹
高動(dòng)態(tài)和振動(dòng)敏感機(jī)器的振動(dòng)隔離EPPC是針對(duì)高動(dòng)態(tài)儀器設(shè)計(jì)的防振系統(tǒng)，該系統(tǒng)可用於高精度機(jī)器，振動(dòng)敏感和高動(dòng)態(tài)測(cè)量機(jī)，顯微鏡以及測(cè)試和生產(chǎn)機(jī)器。
- EPPC™的動(dòng)態(tài)水平控制實(shí)現(xiàn)了+/-8μm的位置精度，並且在動(dòng)態(tài)負(fù)載變化期間顯著減少了偏轉(zhuǎn)和衰減時(shí)間。
- EPPC™可與三個(gè)或六個(gè)控制組的空氣彈簧組合，提供高達(dá)六個(gè)自由度的有效隔振。
- EPPC™適用於敏感環(huán)境，如 品保室或?qū)嶒?yàn)室。
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