CHY-C2晶圓測厚儀采用機(jī)械接觸式測量方式，嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì)，有效保證了測試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測量，同時也滿足塑料薄膜、無紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測量。

晶圓測厚儀 技術(shù)特征

l 搭載7寸IPS觸控屏，采用進(jìn)口MEAS差動電感式位移傳感器分辨率0.1um.

l 測試過程按用戶設(shè)定程序，測量頭自動升降測量，測量數(shù)據(jù)自動打印

l 支持同組數(shù)據(jù)100個測量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集，支持500組數(shù)據(jù)存儲/查詢

l 支持多級用戶權(quán)限管理，測試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢，可審計(jì)追蹤。

l 實(shí)時顯示測量結(jié)果的zuida值、最小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù)，方便用戶進(jìn)行判斷

l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定，保證測試的精度和數(shù)據(jù)一致性

l 可選配自動進(jìn)樣裝置，實(shí)現(xiàn)無人工操作，系統(tǒng)全自動測量

l 配備USB接口，專業(yè)測控軟件、可通過軟件操控儀器完成各項(xiàng)測量

測試標(biāo)準(zhǔn) 該設(shè)備滿足多項(xiàng)國家和國際標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 6618-2009、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、 GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817、GB/T 24218.2

技術(shù)指標(biāo)

測試范圍 ：0～2 mm（常規(guī)） 0～6 mm（可選）

分辨率 ：0.1 μm

臺面有效尺寸：340mm*480mm

接觸面積 ：1.77 mm2（標(biāo)配）

測量頭直徑：1.5mm（標(biāo)配）注：非標(biāo)可定制

電源： AC 220V 50Hz

外形尺寸： 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)

凈重： 35 kg

產(chǎn)品配置：主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊一件、專業(yè)軟件、通信電纜、測量頭