GAS02-400CC

400x400

500x500

±10x±10

±3.5°

105

UP：±1 
P：±5

GAS02-400RS

400x400

500x500

±10x±10

±3.5°

130

UP：±1 
P：±5

GAS02-500CC

500x500

600x600

±10x±10

±2.5°

105

UP：±1 
P：±5

GAS02-500RS

500x500

600x600

±10x±10

±2.5°

130

UP：±1 
P：±5

GAS02-750CC

750x750

850x850

±10x±10

±1.5°

105

UP：±1 
P：±5

GAS02-750RS

750x750

850x850

±10x±10

±1.5°

130

UP：±1 
P：±5

♦ 採用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺

在基座、工作臺之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺組和特殊交叉滾柱軸承的模組之*性，實現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。

♦ 高剛性、高精度

對于構(gòu)成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓，達(dá)到高精度、高剛性的結(jié)構(gòu)。

♦ 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)

採用XYθ模組化結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了無中座、薄而輕的機(jī)構(gòu)，可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試時使用。

♦ 潤滑系統(tǒng)

在各種運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng)，確保潤滑脂補(bǔ)充，提高對位平臺使用的壽命及精度。

♦ 尺寸齊全 適用各種機(jī)型運(yùn)用

工作臺面尺寸口100mm~口1500mm，為了可以對應(yīng)更大的精度荷載，可藉由增加從動模組之?dāng)?shù)量來達(dá)成。

♦  面板貼合機(jī)

♦  面板貼膜機(jī)

♦  網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷

♦  玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備

♦  Wafe對位設(shè)備

♦  P.C.D曝光設(shè)備

♦  軟體裁切設(shè)備

♦  半導(dǎo)體設(shè)備

結(jié)構(gòu)說明

動作原理