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詳細介紹
應用
?驅動薄膜卡盤的專用油缸
技術特點
?油缸兩個腔體的活頂尖塞面積設計成大/小不同的，用于卡盤的松開/夾緊
?壓力范圍：大面積（用于卡盤松開）3-70 bar；小面積（用于卡盤夾緊）3-36 bar
?可選1通路或2通路旋轉接頭
?配直線位置檢測系統(tǒng)（LPS-XS不包含），用于監(jiān)測活塞的位置
?中心通孔用于冷卻液、油或空氣的輸送，并且?guī)в杏脕戆惭b旋轉接頭的螺紋
?安裝方式：螺釘從后面固定
?液壓系統(tǒng)過濾精度要求：10 μm
?液壓油：HM32 ISO 3448
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