詳細(xì)介紹
簡(jiǎn)單介紹
金相顯微鏡是針對(duì)LCD、半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的,作為高級(jí)金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其性能,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用了反射和透射兩種照明形式,在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場(chǎng)觀察。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。
二、技術(shù)規(guī)格
觀察頭:30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm)
目鏡:WF10×/25mm
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
物鏡:平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作. 距離明暗場(chǎng)物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、
10×/0.25B.D/W.D.16mm、20×/0.40B.D/W.D.10.6mm、40×/0.60B.D/W.D.5.4mm、
轉(zhuǎn)換器:帶DIC插孔四孔轉(zhuǎn)換器
平臺(tái):雙層移動(dòng)平臺(tái)
平臺(tái)尺寸: 189mm×160mm
移動(dòng)范圍:80mm×50mm
濾色片:插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性)
聚光鏡:N.A.1.25阿貝聚光鏡帶可變光闌和濾色片
調(diào)焦:粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu).微動(dòng)格值0.002mm
光源:透射照明:鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)
落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/50W,AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié)
偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測(cè)工具:0.01mm測(cè)量尺
可供附件:二維測(cè)量軟件
專業(yè)金相圖像分析軟件
落射照明:鹵素?zé)?2V/100W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)
平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
測(cè)微目鏡
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
DIC(10×、20×、40×、100×)
壓平機(jī)
彩色1/3寸CCD 520條線
三,微分干涉顯微鏡特點(diǎn)說明
1. 微分干涉顯微鏡采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,DIC并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3. 微分干涉顯微鏡采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4. WF10×(Φ25)超大視野目鏡,長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
金相顯微鏡是針對(duì)LCD、半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的,作為高級(jí)金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其性能,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用了反射和透射兩種照明形式,在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場(chǎng)觀察。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。
二、技術(shù)規(guī)格
觀察頭:30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm)
目鏡:WF10×/25mm
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
物鏡:平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作. 距離明暗場(chǎng)物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、
10×/0.25B.D/W.D.16mm、20×/0.40B.D/W.D.10.6mm、40×/0.60B.D/W.D.5.4mm、
轉(zhuǎn)換器:帶DIC插孔四孔轉(zhuǎn)換器
平臺(tái):雙層移動(dòng)平臺(tái)
平臺(tái)尺寸: 189mm×160mm
移動(dòng)范圍:80mm×50mm
濾色片:插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性)
聚光鏡:N.A.1.25阿貝聚光鏡帶可變光闌和濾色片
調(diào)焦:粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu).微動(dòng)格值0.002mm
光源:透射照明:鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)
落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/50W,AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié)
偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測(cè)工具:0.01mm測(cè)量尺
可供附件:二維測(cè)量軟件
專業(yè)金相圖像分析軟件
落射照明:鹵素?zé)?2V/100W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)
平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
測(cè)微目鏡
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
DIC(10×、20×、40×、100×)
壓平機(jī)
彩色1/3寸CCD 520條線
三,微分干涉顯微鏡特點(diǎn)說明
1. 微分干涉顯微鏡采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,DIC并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3. 微分干涉顯微鏡采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4. WF10×(Φ25)超大視野目鏡,長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。