超精密車床加工是指尺寸精度在100nm以內(nèi)的加工技術(shù)。隨著航空航天、精密儀器、光學(xué)和激光技術(shù)的迅速發(fā)展，以及人造衛(wèi)星姿態(tài)控制和遙測器件、光刻和硅片加工設(shè)備等各種高精度平面、曲面和復(fù)雜形狀零件的加工需求日益迫切，超精密加工的應(yīng)用范圍日益擴大。它的特點是可以直接加工出具有納米級表面光潔度和亞微米級形面精度的表面，借以實現(xiàn)各種優(yōu)化的、高成像質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng)，并促使光學(xué)電子設(shè)備的小型化、陣列化和集成化。
超精密車床的安裝要點：
超精密車床在地基上的固定應(yīng)該使用地腳螺釘，安裝時根據(jù)相應(yīng)位置放置我們提供的地腳螺釘，并慢慢放下吊起的機床，使機床上的每一水平調(diào)整螺栓均穿入地腳螺釘中。
由于此時水平調(diào)整螺栓還不能用，因此請先用楔形墊鐵把機床的水平粗調(diào)好，然后，再用水泥將地腳螺釘固定，機床安裝好后符合下述要求：
工作臺平面至地平面距離800mm。待水泥凝固后，撤掉楔形墊鐵，采用本機床平調(diào)整螺栓對機床水平進行精調(diào)。應(yīng)采用0.02/1000mm水平儀由于泥漿孔在*凝固前會略有下沉，因此在機床安裝6個月后，應(yīng)復(fù)檢機床水平并進行必要調(diào)整，以后每年應(yīng)復(fù)檢并調(diào)整一次。
1.搬運及拆箱
拆箱前要仔細觀察超精密數(shù)控車床包裝箱外觀是否完好無損，若包裝箱有明顯的損壞應(yīng)通知發(fā)運單位，拆箱后，首先找出隨機文件，按其中的裝箱清單，一一清查，看機床是否與裝箱清單相符，同時進行外觀檢查。
2.就位
超精密車床的起吊應(yīng)嚴格按說明書上的吊裝圖進行。起吊時，將尾座移至機床右端鎖緊，同時注意使機床底座呈水平狀態(tài)，防止損壞漆面、加工面及突出部件。在使用鋼絲繩時，應(yīng)墊上木塊或墊板，以防打滑。待機床吊起離地面100—200mm時，仔細檢查懸吊是否穩(wěn)固。然后再將機床緩緩地送至安裝位置，并使活動墊鐵、調(diào)整墊鐵、地腳螺栓等相應(yīng)地對號入座。
3.找平
將數(shù)控機床放置于地基上，在自由狀態(tài)下按北京租車信息說明書的要求調(diào)整其水平，然后將地腳螺栓均勻地鎖緊。找正安裝水平的基準面，應(yīng)在機床的主要工作面(如機床導(dǎo)軌面或裝配基面)上進行。對中型以上的數(shù)控機床，應(yīng)采用多點墊鐵支承，將床身在自由狀態(tài)下調(diào)成水平。機床上有8副調(diào)整水平墊鐵，墊鐵應(yīng)盡量靠近地腳螺栓，以減少緊固地腳螺栓時，使已調(diào)整好的水平精度發(fā)生變化，水平儀讀數(shù)應(yīng)小于說明書中的規(guī)定數(shù)值。
在各支承點都能支承住床身后，再壓緊各地腳螺栓。在壓緊過程中，床身不能產(chǎn)生額外的扭曲和變形。
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